Occasion KLA / TENCOR 5200 #293645816 à vendre en France

KLA/TENCOR 5200 est un système avancé d'essai et de métrologie des plaquettes qui permet aux fabricants de semi-conducteurs d'évaluer en profondeur les performances et le rendement de leurs plaquettes. KLA 5200 a des capacités pour la détection des défauts, l'imagerie topographique de surface, la mesure quantitative de l'épaisseur du film, la mesure des dimensions critiques, la caractérisation des contraintes et l'inspection des recouvrements. Avec ces caractéristiques, TENCOR 5200 est capable de détecter et d'analyser les défauts, d'évaluer l'uniformité et la performance des dépôts de matériaux, de mesurer la géométrie et le rendement des couches structurées, d'analyser les contraintes et de vérifier les erreurs de recouvrement. Les outils de détection des défauts 5200 inspectent la plaquette avec un ensemble de capteurs avancés. Grâce à l'imagerie SEM, on capture des électrons réfléchis qui sont ensuite analysés à l'aide des algorithmes de traitement d'image KLA/TENCOR 5200. Cela permet au système d'identifier et de distinguer différents types de défauts au sein de la plaquette. Pour l'imagerie topographique de surface, KLA 5200 utilise des sources laser et des mesures de dimensions critiques. En analysant les caractéristiques topographiques de la surface, TENCOR 5200 est capable de mesurer et de calculer la hauteur, ou hauteur de pas, d'une surface et ses dimensions latérales incluant les dimensions critiques. Cela peut inclure la cartographie d'un seul matériau ou des différences et des caractéristiques entre deux couches de matériau. La mesure de l'épaisseur des films 5200 utilise des sources calibrées pour mesurer non destructivement l'épaisseur des films minces. Cet outil assure l'uniformité et l'épaisseur souhaitée des couches en analysant le profil du film puis en recueillant des mesures de 0 à 1000 nanomètres. KLA/TENCOR 5200 est également capable de détecter nd caractériser la contrainte au niveau de la plaquette. Les modèles viscoélastiques sont utilisés pour mesurer l'évolution de la contrainte dans le temps, ainsi que des paramètres tels que le module, l'amortissement et le rapport de Poisson. Les contraintes peuvent être causées par des choses telles que l'inadéquation thermique, la déformation des matériaux et les erreurs de lithographie, entre autres. Enfin, le KLA 5200 est équipé de capacités d'inspection par superposition. Par précision, mesures précises des positions relatives divisées par deux couches sur une plaquette, et la rotation entre elles, TENCOR 5200 peut détecter des motifs de recouvrement, non-recouvrement et rotation. Dans l'ensemble, 5200 est un système d'essai et de métrologie des plaquettes incroyablement précis et capable, avec un large éventail de capacités pour la détection des défauts, l'imagerie topographique de surface, la mesure de l'épaisseur du film, la caractérisation des contraintes et l'inspection des recouvrements. Ses outils avancés peuvent être utilisés pour mesurer la géométrie et le rendement, détecter les défauts et analyser les caractéristiques des films, en s'assurant que des dispositifs semi-conducteurs performants et performants sont créés.