Occasion KLA / TENCOR 5200 #293771819 à vendre en France

ID: 293771819
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR 5200 est un équipement de métrologie multi-capteurs haute performance dédié aux essais de plaquettes et à la métrologie. Ce système offre une combinaison unique de capacités avancées d'inspection des plaquettes et de métrologie. KLA 5200 prend en charge une variété de technologies et de sous-systèmes de capteurs, y compris le balayage de contour, l'imagerie 2D, le profilage des couleurs, les mesures d'épaisseur de film, les mesures de courbure des plaquettes et la cartographie de surface. Cette puissante combinaison fournit une unité d'inspection et de métrologie des plaquettes hautement capable et précise, capable de détecter les défauts de niveau sub-micron et d'évaluer les types de défauts pour en déterminer l'origine. La machine comprend plusieurs modules logiciels qui permettent l'intégration des fonctions de test automatisé et de métrologie. Cela minimise le risque d'erreurs de test et permet une inspection efficace et à haut débit des plaquettes. En outre, les modules logiciels offrent une variété d'options personnalisables, permettant aux opérateurs d'ajuster les paramètres d'une inspection pour répondre au mieux à leurs besoins. Ces fonctionnalités permettent un outil de test et de métrologie des plaquettes hautement automatisé, fiable et précis. TENCOR 5200 actif dispose également de capacités de balayage de haute précision, permettant la mesure de petites fonctionnalités telles que la mémoire « bitcells » et les structures de test en ligne. Le modèle est spécialement conçu pour l'inspection des plaquettes semi-conductrices, y compris les couches gravées, minces et épaisses. L'équipement est composé de plusieurs sous-systèmes, chacun conçu pour effectuer des tâches différentes. Il s'agit notamment d'un système robotique de wafer, d'une unité de cartographie de wafer, d'une machine de mouvement de wafer, d'un outil d'acquisition de surface de wafer et d'un actif d'analyse de wafer. En outre, le modèle peut être intégré à l'équipement d'analyse automatisée des défauts KLA, assurant une analyse efficace et précise des défauts en temps réel. 5200 est un système de test et de métrologie de plaquettes haute performance, offrant des capacités robustes et une variété de fonctionnalités avancées. L'unité est hautement automatisée et fiable, permettant des tests et une métrologie efficaces et à haut débit. Il est spécialement conçu pour la détection des défauts de niveau sub-micron, offrant aux fabricants la capacité d'évaluer avec précision les types de défauts et d'identifier leur origine. Avec son ensemble complet de fonctionnalités et de capacités, KLA/TENCOR 5200 est une solution leader pour le test et la métrologie des plaquettes semi-conductrices.
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