Occasion KLA / TENCOR 5200 #293808796 à vendre en France

KLA/TENCOR 5200 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes à grande vitesse qui fournit des mesures précises des topographies de semi-conducteurs, des structures de surface et des propriétés chimiques. Le système est conçu pour accueillir jusqu'à 200 mm de plaquettes semi-conductrices, et sa technologie de pointe lui permet de mesurer des caractéristiques aussi petites que 0,3 microns avec une précision ultra-élevée. KLA 5200 utilise une variété de capteurs optiques de précision et d'algorithmes logiciels qui permettent de caractériser en détail chaque étape de la plaquette. L'unité peut être équipée de plusieurs capteurs optiques haute performance optimisés pour différentes mesures, telles que l'interférométrie laser pour la planéité de surface, l'interférométrie lumière blanche pour des mesures d'épaisseur précises et la profilométrie optique monochromatique pour l'imagerie haute résolution. Les capacités de la machine sont encore enrichies par l'ajout d'une station de sonde automatique, qui permet aux utilisateurs de charger et décharger rapidement des plaquettes à grande vitesse. De plus, l'outil permet une analyse précise des défauts des plaquettes et une analyse précise des données en temps réel, y compris des mesures de topographie et d'épaisseur minimales, ainsi que la capacité de comparer les caractéristiques entre plaquettes. TENCOR 5200 utilise l'imagerie en microscopie pleine tranche pour capturer des images haute résolution de caractéristiques microstructurales, ainsi que l'imagerie monocouche pour fournir une vue complète de l'ensemble de la tranche. Grâce à la technique brevetée Wafer Pattern Summary (WPS), l'actif génère une représentation tridimensionnelle de toute la topographie de la plaquette, ce qui permet une analyse précise des surfaces minces et épaisses des films, de plusieurs couches de processus et d'autres caractéristiques à échelle fine. 5200 offre également une combinaison unique de mesures automatisées et manuelles pour faciliter l'optimisation des processus de gravure et de CMP. Le modèle a la capacité de mesurer des sections transversales, ainsi que des profondeurs de V-enfoncés et des trous de broche. De plus, la fonction de vision automatisée de la machine permet d'automatiser le balayage des plaquettes et l'adaptation des motifs, même en utilisant un éclairage de faible puissance. Dans l'ensemble, KLA/Sequent KLA/TENCOR 5200 est une solution puissante et rentable pour le test précis et la métrologie des plaquettes de 200 mm. Il combine des capteurs optiques avancés et des algorithmes spécialisés pour fournir des mesures de mesure très précises, ainsi qu'une analyse détaillée des défauts, topographie, épaisseur, image transversale et correspondance de motifs. Avec une série de fonctionnalités et de capacités avancées, KLA 5200 peut fournir l'analyse approfondie nécessaire pour assurer l'intégrité des dispositifs semi-conducteurs d'aujourd'hui.