Occasion KLA / TENCOR 5200XP #9167259 à vendre en France
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KLA/TENCOR 5200XP est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui fait partie de la gamme de produits de métrologie KLA 5200, ainsi que de leur ligne phare de systèmes de diffraction par rétrodiffusion d'électrons (EBSD). KLA 5200XP est spécialement conçu pour les environnements de métrologie de production, fournissant des capacités de métrologie optique pour mesurer rapidement l'épaisseur, la contrainte et les propriétés de structure des puces ou des plaquettes. Le système utilise un modulateur de lumière spatiale à grande vitesse (SLM) pour projeter et détecter des images sur la surface de la plaquette, lui permettant de mesurer avec précision et précision diverses caractéristiques d'une plaquette. La lumière directionnelle, y compris la lumière oblique et la lumière angulaire, est utilisée pour améliorer les mesures des zones critiques et réduire les artefacts. Pour améliorer la précision et la répétabilité de l'appareil, la source lumineuse est constamment balayée sur la surface de la plaquette. TENCOR 5200 XP propose des systèmes, des processus et des analyses de pointe pour garantir la meilleure qualité des plaquettes. Il est capable de détecter et de diagnostiquer automatiquement les défauts majeurs et mineurs, tout en mesurant avec précision les paramètres critiques tels que la profondeur de gravure, la largeur et l'épaisseur de la matrice, les fines longueurs de linéarité, les profils de contraintes, et plus encore. En outre, la machine offre une gamme complète de logiciels d'analyse, qui permet aux utilisateurs de détecter rapidement les aberrations, d'identifier les tendances et de comprendre les causes profondes des puces ou plaquettes défectueuses. KLA/TENCOR 5200 XP est conçu pour supporter des tests parallèles, avec quatre canaux de mesure indépendants mesurant plusieurs plaquettes à la fois. L'alignement optique précis et avancé garantit que l'outil produit régulièrement des données précises, et une faible consommation d'énergie assure une grande fiabilité. 5200 XP est également capable de correction chromatique précise, fournissant une plus grande précision dans la mesure des couleurs et permettant des temps de balayage plus rapides. En résumé, le KLA 5200 XP est un outil de test et de métrologie avancé conçu spécifiquement pour les environnements de production à grande vitesse. Son modèle optique très précis, ses puissantes capacités analytiques et ses canaux de mesure parallèles garantissent des mesures précises et précises. Cet équipement est capable de mesurer rapidement et avec précision les zones critiques, y compris la profondeur de gravure, la largeur de la matrice et les profils de contraintes, ce qui en fait un choix idéal pour la production de puces et de plaquettes.
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