Occasion KLA / TENCOR 5200XP #9214648 à vendre en France

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ID: 9214648
Overlay measurement system Main body Monitor Chiller.
KLA/TENCOR 5200XP est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour des applications de métrologie et d'inspection dans la production de semi-conducteurs. Capable de solutions à la fois de haute précision et de haut débit, le système KLA 5200XP peut être utilisé pour augmenter le rendement et la fiabilité. Cette unité utilise une technologie d'imagerie de pointe, comme les électrons secondaires en temps de vol et les électrons rétrodiffusés, ce qui lui permet de fournir une imagerie de résolution supérieure et une détection de défauts de sensibilité élevée. De plus, les algorithmes de déconvolution permettent d'identifier des caractéristiques et des défauts plus petits. Les fonctions automatisées d'alignement et d'imagerie telles que le scan et le piquage d'image permettent à la machine de réduire la surface totale nécessaire à l'image, tout en nécessitant moins d'interactions utilisateur. TENCOR 5200 XP comprend également diverses fonctionnalités qui améliorent l'analyse d'images, telles que des algorithmes automatisés de classification des défauts et une bibliothèque de conceptions de référence pour permettre aux utilisateurs de comparer avec précision les résultats aux normes connues. En outre, grâce à son interface avec d'autres systèmes tels que les systèmes d'inspection optique et les systèmes d'analyse des défauts de premier niveau, KLA 5200 XP fournit un flux de travail plus intégré et plus efficace pour l'analyse des défauts. L'outil peut également fournir des solutions de métrologie pour une variété d'applications, y compris des mesures pour la dimension critique, l'uniformité CD, la précision de recouvrement, et la planéité des lignes. Il intègre également l'interférométrie laser, qui peut être utilisée pour mesurer les changements spectaculaires de la dimension critique des caractéristiques et de la hauteur de la couche causés par les variations de processus. KLA/TENCOR 5200 XP dispose également d'une automatisation à plusieurs étages, permettant à l'actif de passer d'une plaquette à une plaquette avec une grande précision et précision. 5200XP est devenu le modèle de métrologie et d'inspection pour une variété d'applications, grâce à sa combinaison d'imagerie à résolution supérieure, d'algorithmes avancés de détection de défauts et de capacités d'automatisation. Sa capacité à interagir avec d'autres systèmes garantit un flux de travail efficace et intégré qui améliore le rendement global et la fiabilité des plaquettes.
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