Occasion KLA / TENCOR 5200XP #9230350 à vendre en France

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ID: 9230350
Taille de la plaquette: 6"-8"
Overlay measurement system, 6"-8".
KLA/TENCOR 5200XP est un équipement d'essai et de métrologie avancé conçu pour fournir le plus haut niveau de performance et de précision dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et la surveillance des processus en ligne. Avec ses capacités avancées, KLA 5200XP offre une plate-forme idéale pour la caractérisation des processus et des produits, l'amélioration des rendements et la détection et la correction des défauts. Le système se compose d'un module étape/prober, d'un module scan/inspection et d'un module analyseur. Le module étage/prober fournit une surface de travail pour la plaquette à tester, ainsi que pour une série de composants automatisés de manutention de la plaquette. Le module de numérisation/inspection utilise une tête de balayage unique en phase pour mesurer avec précision les caractéristiques sur les surfaces supérieure et inférieure de la plaquette. Le module analyseur fournit des données statistiques et métrologiques, ainsi que l'analyse des données de défauts. L'unité est capable de mesurer les caractéristiques, l'épaisseur, les défauts et la topographie sur des plaquettes simples et à motifs. Il utilise une large gamme de capteurs intégrés pour une variété de métrologie, comme la réflectométrie optique, la capacité, le courant de Foucault, l'interférométrie laser, la déflectométrie et la réflectométrie. TENCOR 5200 XP est également livré avec une large gamme d'outils spéciaux, tels que l'analyse d'image infrarouge (IR), des capacités avancées d'imagerie et de reconnaissance de motifs, des technologies avancées pour la mesure de la largeur de ligne nano-échelle, et des outils spéciaux pour la topographie 3D et les mesures de largeur de ligne. La machine est très polyvalente et peut être configurée pour répondre aux besoins spécifiques de l'application. Il est conçu avec des interfaces standard de l'industrie et la capacité d'échelle, pour se connecter facilement avec des instruments et des logiciels externes. Il est également conçu avec une gamme de fonctionnalités de fiabilité avancées, pour assurer un fonctionnement fiable et continu. 5200 XP est idéal pour la validation des produits et des procédés, ainsi que pour les activités de production et d'amélioration des rendements. Il est soutenu par une équipe d'experts expérimentés fournissant un soutien à la clientèle leader dans l'industrie. Avec ces caractéristiques, KLA/TENCOR 5200 XP est la solution idéale pour les fabricants qui cherchent à augmenter l'efficacité, à améliorer le rendement et à réduire le coût de production.
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