Occasion KLA / TENCOR 5200XP #9236317 à vendre en France
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Vendu
ID: 9236317
Taille de la plaquette: 6"-8"
Overlay measurement system, 6"-8"
Main system
Configuration:
Fully automated non-contact box-in-box measurement (Stepper alignment)
GEM / SECS: 5.3.26
Indexer: Port open (Type 2)
Console: VAX / XP
Blower box
Backups
Covers
Reflective host chuck
Operations manual included.
KLA/TENCOR 5200XP Wafer Testing and Metrology Equipment est conçu pour l'inspection et l'essai précis des wafers pour un large éventail de procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ce système polyvalent prend en charge une variété d'applications, allant du balayage 2D et 3D, à l'inspection de masque, le suivi des défauts, et plus encore. Pour la numérisation et l'inspection 2D, KLA 5200XP est équipé d'une grande caméra CCD haute résolution et d'une tête de balayage plein champ incluse. Cette unité d'imagerie hautement sensible offre une sensibilité et une résolution d'image supérieures qui permettent de détecter des défauts extrêmement petits. La plate-forme prend en charge le balayage 3D à l'aide d'un étage rotatif auto-aligné, permettant aux utilisateurs de scanner et d'évaluer avec précision des plaquettes de différentes épaisseurs et topographies de surface. Le TENCOR 5200 XP comprend également une tête de test de planéité de haute précision, qui permet le piquage d'images de plaquettes et l'inspection automatisée de la planéité. Cela permet une analyse rapide et efficace de la planéité des plaquettes, en identifiant rapidement et avec précision les zones de non-tolérance. En outre, la machine dispose d'un interféromètre laser intégré qui permet des lectures de bord de plaquette pour tous les types de plaquettes. En outre, 5200XP intègre la technologie KLA avancée pour l'inspection des masques. Cela permet de détecter et de suivre les défauts depuis la conception du masque jusqu'à l'appareil fabriqué. Débit élevé, flexibilité et précision inégalée font de 5200 XP l'outil idéal pour l'inspection et l'analyse des défauts. Cela aide également à réduire les produits défectueux et les retours des clients, en fin de compte améliorer l'efficacité des processus. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR 5200 XP est conçu pour des tests et métrologie rapides et précis des plaquettes. Sa gamme complète d'images, de balayages 3D, de tests de planéité et d'alignement des masques, combinée à son interface facile à utiliser, permet aux utilisateurs d'évaluer avec précision et efficacité la qualité de leurs plaquettes. Cela fait de KLA 5200 XP un outil inestimable pour garantir une excellente qualité de fabrication des semi-conducteurs.
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