Occasion KLA / TENCOR 5200XP #9241362 à vendre en France
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Vendu
ID: 9241362
Taille de la plaquette: 8"
Overlay measurement system, 8", parts machine
Carcass with power supplies
Z-Stage
X / Y Stage without steppers
Encoder
Various other components
No auto-loader
No UI
Arc lamp housing
(3) Missing micrometers.
KLA/TENCOR 5200XP est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour améliorer le rendement, réduire les coûts et améliorer le contrôle des processus dans la fabrication de semi-conducteurs. KLA 5200XP, associée à ses logiciels, fournit une gamme de solutions pour la classification des défauts, la cartographie des plaquettes et le calibrage des particules. TENCOR 5200 XP est basé sur KLA Scanning Laser Imaging Microscope (SLIM) conception. Ce système utilise une tête laser optique pour scanner un échantillon, et un étage mécanique pour déplacer l'échantillon. Le SLIM se compose d'une solution de balayage en ligne et d'une solution de balayage en goutte, ce qui permet à KLA 5200 XP de fournir la meilleure solution pour les images de faisceau ionique focalisé (FIB) et les images optiques. Un ensemble de caméras CCD, de processeurs d'images et de récepteurs d'images sont tous inclus dans l'unité, permettant l'acquisition et l'analyse de données précises. 5200XP présente également plusieurs modes d'imagerie différents tels que la lumière polarisée, la lumière transmise, la lumière fluorescente et l'imagerie inclinée. Cela aide les utilisateurs à mieux comprendre la classification des défauts, la cartographie des plaquettes et le dimensionnement des particules en fournissant différentes solutions d'imagerie. TENCOR 5200XP peut mesurer jusqu'à 8,5 pouces de plaquettes, ce qui permet de réduire le temps de cycle. Cette machine dispose également d'une capacité de reconnaissance rapide de motifs pour détecter des défauts variables sur une plaquette rapidement et avec précision. D'autres processus automatisés comprennent la classification des défauts à l'aide d'algorithmes embarqués et de logiciels de reconnaissance des motifs. Ce KLA/TENCOR 5200 XP fournit aux utilisateurs un logiciel convivial pour l'analyse des données. En outre, 5200 XP prend également en charge divers logiciels tels que la cartographie des plaquettes et le tri des défauts. Cela donne aux utilisateurs plus de contrôle sur la classification des défauts, l'optimisation des particules et le rendement. KLA/TENCOR 5200XP fournit également un outil d'analyse statistique automatisé pour aider les utilisateurs à améliorer les processus, à détecter les problèmes émergents et à trouver des solutions possibles. Enfin, l'UCK 5200XP soutient un atout de traçabilité qui permet aux utilisateurs de suivre les changements et la santé de leur processus. Cette caractéristique est particulièrement bénéfique pour améliorer la stabilité du procédé, le rendement et la qualité globale du produit. En conclusion, TENCOR 5200 XP est un modèle complet d'essai de plaquettes et de métrologie. Il est conçu pour permettre aux utilisateurs d'améliorer le rendement, de réduire les coûts et de mieux contrôler les procédés de fabrication des semi-conducteurs. L'équipement est également livré avec une large gamme de fonctionnalités qui permettent aux utilisateurs de mieux comprendre la classification des défauts, la cartographie des plaquettes et le calibrage des particules.
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