Occasion KLA / TENCOR 5300 #120993 à vendre en France
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Vendu
ID: 120993
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Overlay measurement system, 8"
Process: PEP
Control console:
Console PC
Monitor
Keyboard and trackball
Video printer
Sub storage device (CD/floppy/tape)
Power and signal cables
Handler:
Robot
Power and signal cables
Inspection station:
Main body stage
X-Y chuck stage
Optics
Power and signal cables
Includes:
Lexmark printer
Backup floppies (1 set)
Spanner
208 V, 1 phase, 50/60 Hz, 12.5 A
2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300 est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe. Il est conçu pour l'inspection avancée des défauts et le contrôle des processus. La KLA 5300 atteint une sensibilité élevée grâce à trois technologies distinctes : l'inspection optique automatisée (AOI), la reconnaissance automatique des défauts (ADR) et le système d'imagerie sous-pixel (SIM). L'AOI utilise une caméra CCD pour capturer des images haute résolution de la plaquette. Avec le traitement d'image embarqué, l'unité identifie et identifie les défauts en temps réel. La machine est capable de détecter les défauts de sous-microns et peut identifier une gamme de caractéristiques électriques et optiques, y compris les courts, les ouvertures, les défauts, le pont de soudure et les problèmes d'alignement. L'ADR est conçu pour détecter certains types de défauts. Il effectue une analyse profonde de l'image, la recherche de motifs et la corrélation entre les zones de la plaquette. Cela lui permet de détecter même les plus petits défauts. L'ADR fournit également une analyse de traçabilité et de traçabilité, permettant un meilleur contrôle des procédés et une analyse approfondie des rendements. La technologie SIM est au cœur du TENCOR 5300, ce qui lui permet de détecter les défauts de structure au niveau du nanomètre. En créant des images haute résolution de la plaquette, il permet à l'outil de détecter une grande variété de défauts, y compris des asymétries de largeur de ligne, des structures manquantes et des déplacements de déplacement. Il peut également analyser les résultats de l'AOI et de l'ADR et fournir une évaluation détaillée de la structure de la plaquette. Au total, 5300 est un outil puissant pour l'essai de plaquettes et la métrologie. Il fournit une sensibilité élevée, une détection avancée des défauts, et une analyse plus complète pour le contrôle des processus. Avec ses caractéristiques robustes, il peut aider à améliorer le rendement et la qualité de la production et réduire le temps de mise sur le marché.
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