Occasion KLA / TENCOR 5300 #9072400 à vendre en France

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ID: 9072400
Overlay measurement system, 8" and 12" Open cassette.
KLA/TENCOR 5300 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour les industries des semi-conducteurs et des MEMS. Il offre une précision et des capacités de collecte de données supérieures, permettant la détection et l'évaluation des défauts et des structures plus petites que jamais. Le système utilise des technologies de pointe telles que l'intelligence unifiée et une série d'outils uniques. Ceux-ci aident à identifier les défauts classiques et difficiles, tels que les traverses, les déconnexions et les espacements. Cette solution permet également le traitement et l'analyse d'images pour des structures difficiles telles que la rugosité des bords de ligne et les réseaux de diffraction. Les performances de KLA 5300 sont rendues possibles par ses détecteurs, combineurs et scanheads uniques. Il tire parti des configurations optiques exclusives, de l'optique avancée et des commandes logicielles. Ces technologies permettent à l'unité de produire des données répétables et fiables avec une uniformité supérieure. Il offre également une résolution optique améliorée de 20nm ou mieux. Les fonctions d'auto-étalonnage et d'analyse de la machine permettent d'améliorer la précision et de réduire le temps. L'inspection sur le terrain permet de détecter plus rapidement les défauts subtils et plus importants. Les puissants algorithmes d'analyse de données de l'outil permettent des mesures automatisées des signatures de lignes et des classifications de défauts. TENCOR 5300 propose également une variété de solutions de métrologie avancées. Il s'agit notamment de mesures automatisées de linéarité, d'uniformité et d'épaisseur de la résine photosensible. L'examen des défauts de l'actif permet également des classifications automatisées des défauts pour l'analyse du rendement, l'analyse des défaillances lithographiques et la détection des contaminants. La suite de solutions de métrologie du modèle le rend idéal pour surveiller la qualité de la production. L'équipement est conçu pour répondre aux exigences des normes les plus élevées de l'industrie. Il est très fiable et sans entretien, et offre une détection de fonctionnalités robuste, une gamme dynamique étendue, et un large champ de vision. 5300 est une solution économique et précise pour des essais et une métrologie fiables des plaquettes. Il est adapté à un large éventail d'applications de contrôle de processus et de métrologie avancée.
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