Occasion KLA / TENCOR 5300 #9112501 à vendre en France

KLA/TENCOR 5300 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes de haute performance qui fournit des données de mesure fiables, répétables et précises pour la production de plaquettes. Le système est entièrement automatisé et construit sur une combinaison de mesures d'images linéaires et 2D et d'algorithmes avancés, ce qui en fait l'une des solutions les plus efficaces pour les essais de plaquettes et la métrologie dans l'industrie. La KLA 5300 combine deux technologies complémentaires : l'inspection des plaquettes optiques et la métrologie des plaquettes optiques. La plate-forme d'inspection des plaquettes optiques utilise des algorithmes avancés d'optique et de traitement d'image pour détecter les défauts physiques sur les surfaces des plaquettes. L'unité peut détecter un large éventail de défauts potentiels tels que des partiels, des rayures et des contaminants. Cela permet d'assurer le rendement du procédé et de produire un produit plus fiable et plus robuste. La plate-forme de métrologie optique des plaquettes est conçue pour mesurer des valeurs dimensionnelles précises à partir de zones d'une plaquette, telles que les largeurs de lignes, les profondeurs, les motifs et les dimensions critiques (CD). Ceci est réalisé grâce à une machine intégrée hautement automatisée qui comprend des algorithmes avancés pour des mesures rapides et précises. L'outil supporte une gamme de plaquettes, des substrats monocristallins aux plaquettes à motifs. Un large éventail de configurations optiques est pris en charge, y compris les microscopes, les systèmes télécentriques et de rétroviseurs, les spectrophotomètres et les interféromètres laser. L'atout intègre également les dernières technologies de vision de la machine telles que le positionnement du faisceau laser, le recuit simulé et les capacités auto-focus. Les systèmes basés sur laser permettent un balayage rapide et un débit de processus global plus rapide, ce qui permet de minimiser les temps d'arrêt du modèle et d'améliorer la production. En outre, l'équipement est équipé de services d'audit automatisés, pour assurer la précision et la fiabilité, même après de longues périodes d'exploitation. Dans l'ensemble, TENCOR 5300 est un système robuste d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour produire des résultats de processus de haute qualité et fiables. Sa combinaison de technologies de mesure optique avancées et de puissants algorithmes de métrologie aide à rationaliser le processus de production et garantit des données fiables et précises pour un large éventail d'applications de production de plaquettes.