Occasion KLA / TENCOR 5300 #9161978 à vendre en France
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Vendu
ID: 9161978
Style Vintage: 2001
Overlay measurement system
Hardware configuration:
Chuck: 8"
Handler: Open cassette with PRI dual end-effector robot
Cassette type: Dual open cassette
Line conditioner: Yes
Network: Yes
Signal tower: No
UPS: Smart-UPS 500
Main console: Yes
Load port: 8"
(2) Open cassette stations
VME:
CPU Board: Yes
Memory board: Yes
Video (Matrox) board: Yes
I/O Board: Yes
PZT Controller board: Yes
I/O Adapter board: Yes
Motion and controller:
Power supply: Yes
X Driver board: Yes
V Driver board: Yes
Z Driver board: Yes
T Driver board: Yes
L Driver board: Yes
XYT Stage: Yes
PM Target: Yes
Z Motor: Yes
Host chuck: 8"
Z PZT: Yes
PCB and pneumatics panel:
I/O Interface board
PZT Driver board
Interlock board
Pressure panel
Vacuum panel
Flotation module:
IDE Controller
(8) Motors
(3) Proximity sensors
(3) Hard stop
LINNIK and AMS:
HLS Lamp housing: Yes
Dual aperture: Yes
LLG: Yes
LlNNIK Camera: Yes
PIN Diode array: Yes
P PZT: Yes
Shutter: Yes
AMS Camera: Yes
Power module:
P Power transformer (Line conditioner): Yes
AC Compartment: Yes
Main DC power supply: Yes
HLS Power supply: Yes
Software configuration:
Operation system: Windows NT 4.0
Computer configuration:
CPU: Pentium II 400 MHz
RAM: 256M
(2) Hard drive disks: 9G
Floppy drive: Yes
CD ROM: Yes
Tape driver: Yes
Monitor: Yes
Thermal printer: Yes
Keyboard / Tracking ball: Yes
Facilities:
Input power: 225VAC, 50/60 Hz
Computer input power: 110 VAC
Input vacuum: 25 Inches Hg
Input CDA: 97 - 110 PSI
Handler check:
Robot: Yes
End effector: Yes
Pre aligner: Yes
L Cassette: Yes
R Cassette: Yes
Currently crated
2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300 Wafer Testing and Metrology Equipment est un système très précis et précis pour analyser et déterminer la qualité d'une plaquette de semi-conducteur. Il est alimenté par un scanner laser ultra-rapide qui peut mesurer les dimensions des plaquettes, la planéité et l'épaisseur avec une précision incroyable en peu de temps. Les principales caractéristiques de l'unité comprennent le scanner laser haute vitesse, le logiciel d'analyse d'image, et les logiciels intégrés et les paquets matériels. L'optique laser est capable de scanner l'ensemble de la plaquette rapidement et efficacement, en extrayant toutes les données nécessaires telles que les bords, les longueurs de ligne, les largeurs de ligne, et d'autres caractéristiques de surface. Le logiciel d'analyse d'image prend alors des lectures de la machine laser et génère une carte numérique de la surface de la plaquette qui est utilisée pour générer des rapports, des dessins et d'autres sorties de données. Toutes les données collectées sont stockées dans une grande base de données à consulter à tout moment. Les logiciels intégrés et les paquets matériels donnent aux utilisateurs des outils puissants pour mesurer rapidement et avec précision les formes de surface complexes et déterminer les anomalies ou les défauts dans la plaquette. Les paramètres de correction nécessaires à appliquer à chaque plaquette sont calculés automatiquement par l'outil à partir des données collectées. KLA 5300 Wafer Testing and Metrology Asset fournit des rapports détaillés qui sont utilisés pour le contrôle de la qualité et le développement de produits, ainsi que pour évaluer les impacts des variations de processus sur la qualité de la plaquette. C'est un modèle très efficace et fiable, avec une interface conviviale qui permet aux utilisateurs d'effectuer des opérations d'inspection et d'analyse régulières et spécifiques rapidement et efficacement. Sa précision et sa gamme de capacités en font un outil inestimable pour tout fabricant ou laboratoire de semi-conducteurs.
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