Occasion KLA / TENCOR 5300 #9205448 à vendre en France
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Vendu
ID: 9205448
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Overlay measurement system, 8"
Control console:
Console PC
Monitor
keyboard and mouse (Track ball)
Video printer
Sub storage device (CD / Floppy / Tape)
Power & signal cables
Handler:
Robot
Power & signal cables
Inspection staion:
Mainbody stage
X&Y chuck stage
Optic
Power & signal cables
Components name:
Line conditioner
Handler
Console PC
DSW
Included:
Lexmax printer
Backup floppy
Spanner
Power supply: 208V, 50/60 Hz, 12.5A, 1P
2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300 est un équipement avancé de test et de mesure de plaquettes adapté à la fabrication de semi-conducteurs. Dans le cadre de la famille de trieurs de cinquième génération, KLA 5300 utilise des algorithmes intelligents, une optique sophistiquée et une métrologie de pointe pour aider à détecter les défauts in situ et à optimiser les performances. Conçu pour un débit maximal, TENCOR 5300 supporte une large gamme de cartes de sonde de haute précision et de composants matériels pour inspecter, classer et mesurer les plaquettes et les puces au plus haut niveau de précision et de vitesse. La microscopie au silicium avancée du système fournit une imagerie 2D et 3D, permettant l'inspection des défauts de surface et internes. La conception unique de 5300 assure une résolution des défauts jusqu'à 0,7 μ m. La saisie et l'analyse des données font également partie intégrante du fonctionnement de l'unité. En combinant les connaissances techniques et l'analyse embarquée avancée, KLA/TENCOR 5300 peut détecter, classer et mesurer avec précision une variété de défauts. Les caractéristiques particulières comprennent la mesure automatisée, l'alignement automatique, les processus d'imagerie avancés et une multitude d'options automatisées d'entrée de données. KLA 5300 est utilisé dans une variété d'applications de production, allant de l'imagerie et de la mesure des hauteurs d'étapes à la numérisation des images prospectives et TEM. Il est également utilisé pour la mesure de la largeur de la ligne, l'évaluation des processus, les inspections de la rugosité de surface, les couches 3D, le retournement des puces, la détection des décharges électrostatiques et l'inspection des appareils. Pour maximiser les performances, TENCOR 5300 s'intègre à une gamme d'outils avancés d'analyse des données, y compris la comparaison die-to-die, l'analyse RCP, la vérification des règles de conception et la cartographie chip-to-wafer. En outre, les algorithmes propriétaires d'amélioration d'image permettent une meilleure classification des défauts. Toutes les données saisies sur la machine peuvent être exportées vers des formats de fichiers standard de l'industrie, ce qui accroît la collaboration entre les ministères. Au total, 5300 fournit un support puissant et efficace pour les essais de plaquettes semi-conductrices et la métrologie. Doté d'une optique et d'une analyse avancées, de cartes de sonde de haute précision et d'une automatisation pour supporter le fonctionnement, l'outil permet des tests et des mesures de défauts rapides et précis.
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