Occasion KLA / TENCOR 5300 #9350994 à vendre en France

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KLA / TENCOR 5300
Vendu
ID: 9350994
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR 5300 wafer testing and metrology equipment est un système de balayage automatisé multi-axes qui peut être utilisé pour mesurer plusieurs propriétés des wafers, y compris leurs caractéristiques géométriques, photos, épaisseur du film, propriétés électriques, contraintes du film et charge. Cette unité est conçue avec une suite d'outils et de logiciels automatisés qui peuvent mesurer, localiser et quantifier les défauts des plaquettes. Chacune de ces fonctions a été conçue pour fonctionner sur une variété de substrats allant de 6 "à 300mm de plaquettes. La KLA 5300 comprend une tête de balayage laser à haute vitesse avec une capacité de commutation de faisceau brevetée qui permet une commutation rapide entre différentes longueurs d'onde laser pendant le balayage. Cette conception unique permet de mesurer avec précision les propriétés de surface, les performances et l'uniformité des échantillons en même temps. La machine comprend également des dispositifs d'imagerie photovoltaïque, qui utilisent des caméras monochromes pour capturer des images de défauts physiques, de tranchées et de non-uniformités des matériaux de production, tandis que les outils de métrologie de surface à bord mesurent l'épaisseur et les propriétés du film comme la contrainte et la mobilité du film. TENCOR 5300 est équipé d'une interface utilisateur intuitive et d'une instrumentation logicielle qui simplifie la configuration et le fonctionnement. L'outil affiche des images en 3D et peut être utilisé par l'opérateur pour localiser et mesurer rapidement les défauts de l'échantillon. L'actif est conçu pour être convivial et peut être facilement configuré et programmé pour répondre aux besoins individuels des utilisateurs. 5300 est construit avec la technologie la plus fiable et moderne et dispose d'un boîtier physique très durable et fiable. Il dispose également d'un modèle automatisé de suivi des échantillons, de traçabilité, de répétabilité et de reproductibilité. Cela garantit que chaque mesure est précise et répétable sur un grand nombre d'échantillons. KLA/TENCOR 5300 offre des niveaux de flexibilité et de précision sans précédent dans ses mesures et est constamment amélioré et mis à jour avec la dernière technologie. Ses dernières améliorations comprennent sa capacité à mesurer la température et la pression élevées, la vitesse élevée, des échantillons de plus grande surface et des mesures de films ultra-minces. Ces caractéristiques font de KLA 5300 un choix idéal pour les essais de plaquettes et la métrologie.
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