Occasion KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293594917 à vendre en France

KLA / TENCOR 5500 Surfscan
ID: 293594917
Inspection system.
KLA/TENCOR 5500 Surfscan est un équipement de test et de métrologie des plaquettes de pointe conçu pour détecter et évaluer les défauts critiques dans la fabrication des plaquettes semi-conductrices. Le système est capable de détecter et de mesurer un large éventail de défauts, y compris les fosses, les fissures, les limites des grains, les couches minces et les résidus, la non-uniformité de l'épaisseur des plaquettes, la chaîne ou l'arc, la contamination des particules et la non-uniformité de la résistivité. De plus, la technologie de pointe KLA 5500 Surfscan prend en charge les tests électriques et l'inspection des œuvres d'art pour une détection plus rapide et plus précise des défauts. TENCOR 5500 Surfscan est conçu pour la productivité, construit avec un processus de mesure automatisé rapide et intuitif qui permet une précision répétable et un contrôle précis. L'unité est équipée de centaines de capteurs et d'étages de balayage pour mesurer avec précision les dimensions, ainsi que d'algorithmes d'imagerie haute résolution et d'analyse de données qui identifient et catégorisent les défauts. Le logiciel intégré aligne automatiquement les plaquettes et mesure les emplacements défectueux, permettant des tamisages rapides jusqu'à 160 plaquettes par heure. La machine dispose également d'un système de mesure de profil de contour avancé en option qui améliore ses capacités de détection de défauts, permettant une mesure efficace et précise de la rugosité du profil de surface et d'autres caractéristiques physiques, y compris la géométrie du profil, les hauteurs de pas et les angles de dépassement et de sous-relevé. 5500 Surfscan offre plusieurs modes d'imagerie, y compris le champ lumineux, le champ noir et l'imagerie différentielle, pour aider à déterminer la taille, la densité et l'orientation des défauts. Le matériel de KLA/TENCOR 5500 Surfscan est hautement configurable, avec plusieurs caméras et objectifs, qui peuvent être configurés pour capturer des images sous différents angles. L'outil est équipé d'une variété de sources d'éclairage, y compris des lampes à LED et à arc de mercure, et est livré avec une large gamme d'accessoires tels que des cubes de filtres externes et des spectromètres, des systèmes mini-spec, et des modules de numérisation. Un étage chauffé permet aux utilisateurs d'analyser un échantillon lorsqu'il est dans un environnement à haute température. De plus, KLA 5500 Surfscan est compatible avec une suite de logiciels avancés pour maximiser sa précision et son efficacité. Il s'agit notamment du logiciel d'analyse dynamique, du logiciel Flowvision et du logiciel Curv-x, ce qui permet d'analyser et de rendre compte de façon exhaustive des caractéristiques de surface, de l'analyse du profil et du dimensionnement des défauts. Cela permet une rétroaction en temps opportun pour le contrôle et la surveillance des processus, contribuant à assurer une production sans défaut avec un temps d'exécution réduit.
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