Occasion KLA / TENCOR 5500 Surfscan #55391 à vendre en France

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ID: 55391
Style Vintage: 1989
Inspection system Power: 110 VAC - 160 VAC 1989 vintage.
KLA/TENCOR 5500 Surfscan est un équipement avancé de test et de métrologie de plaquettes qui permet de tester et d'analyser à haut débit divers types de dispositifs semi-conducteurs. Ce système est intégré à une unité de scatterométrie optique avancée qui permet une meilleure caractérisation des structures et des paramètres électriques sur un dispositif semi-conducteur. Cette machine est également livrée avec une fonctionnalité autofocus robuste qui optimise l'imagerie pour l'uniformité et les résultats critiques de métrologie. En outre, KLA 5500 Surfscan est capable de fournir des tests de distorsion faible, ce qui le rend apte à évaluer des appareils avec des rapports d'aspect élevés et des surfaces courbes. TENCOR 5500 Surfscan est livré avec le logiciel Scan Generator, qui facilite le suivi des plaquettes et la mesure de l'alignement global. Ce logiciel prend en charge la configuration et l'évaluation de fonctions multiples, y compris les mesures d'alignement global, la scatterométrie optique, le rayon de courbure, l'inclinaison, les meilleurs points de focalisation, etc. De plus, son analyse de transformée multidimensionnelle permet une comparaison précise entre la forme réelle de la caractéristique et le dispositif cible. L'outil utilise généralement un scanner à palier à air pour balayer des plaquettes de 500 mm avec des champs de mesure de 4 pouces et de 6 pouces. Cet actif est capable de mesurer de faibles densités de motifs en raison de ses faibles niveaux de résolution et de ses taux d'analyse à grande vitesse. Il offre également trois options de numérisation différentes, dont la haute résolution, la résolution moyenne et la numérisation rapide. En plus des plaquettes de balayage, le modèle offre également un étage de rotation 3D pour mesurer des composants ou des dispositifs discrets. 5500 Surfscan est livré avec un logiciel d'inspection convivial, permettant une mise en œuvre et un fonctionnement faciles de l'équipement. Ce logiciel intuitif a une interface utilisateur graphique qui facilite la configuration rapide et l'analyse des résultats. Le logiciel offre également de puissantes options d'analyse de données, y compris l'ajustement des courbes et l'extraction des paramètres, pour permettre une analyse efficace des données. Le système est utilisé dans un large éventail d'applications de métrologie des plaquettes, y compris l'évaluation de la géométrie critique, les mesures de topologie des motifs, la détection et l'analyse des défauts, et d'autres applications d'inspection. Il facilite également les études de caractérisation, l'amélioration des rendements, la qualification des procédés et d'autres applications liées à la fiabilité et au développement des procédés. Les capacités de surveillance en temps réel de KLA/TENCOR 5500 Surfscan le rendent adapté au contrôle des processus en ligne et à l'amélioration avancée des processus.
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