Occasion KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9003849 à vendre en France

KLA/TENCOR 5500 Surfscan est un équipement automatisé d'essai de plaquettes et de métrologie utilisé par les industries pour mesurer l'intégrité physique des substrats de plaquettes. Ce système acquiert des dimensions critiques à l'échelle du micron en utilisant une technologie de détection optique avancée à la surface du dispositif. KLA 5500 Surfscan fournit des mesures de sous-microns dans une méthode non-contact et non-invasive, créant une image virtuelle de la surface de la plaquette qui peut être utilisée pour évaluer l'uniformité de la topographie de surface de la plaquette. TENCOR 5500 Surfscan est exceptionnellement précis, offrant une précision de linéarité inférieure à 5 nanomètres (nm) et une précision verticale de 1 nm, tout en fournissant des mesures valides à une taille minimale de 4,5 mm. 5500 Surfscan capture les informations de topographie 3D en scannant une plaquette nominale de 3,5 pouces en format numérique. Il utilise pour cela une unité d'imagerie linéaire 5500 (LIS) composée d'une tête de détection optique à double lentille et d'une caméra linéaire CCD. Lorsque le LIS acquiert des données, l'image bidimensionnelle est convertie en trois dimensions. Les données sont ensuite traitées, archivées et inspectées par KLA/TENCOR 5500 Surfscan's On-Track Programmer (OTP) ou Automatic Defect Review Machine (ADRS). Le programmeur sur piste (OTP) est une interface utilisateur graphique autonome (GUI) qui automatise le processus de mesure des plaquettes. Les données saisies dans le PTO comprennent la taille de la plaquette, le numéro de pièce, le nombre d'images prises de vue, la plage de numérisation, la vitesse de ligne et la taille des fonctionnalités. De là, le PTO crée un plan d'acquisition de données, une série de balayages de données qui peuvent parfaitement couvrir la surface de la plaquette. Il crée également une carte des défauts sur la plaquette pour une analyse plus approfondie. Les données recueillies sont ensuite compilées et stockées dans la base de données du Bureau du Procureur pour une surveillance continue et une analyse post-mesure. L'outil de révision automatique des défauts (ADRS) est un progiciel qui permet aux opérateurs d'examiner les données recueillies par le programmeur sur piste. Il utilise une combinaison d'algorithmes avancés et d'outils logiciels pour comparer les images avant et après d'une plaquette. Si des différences entre les deux images sont détectées, l'ADRS signalera automatiquement les zones à inspecter manuellement. KLA 5500 Surfscan est un outil puissant pour garantir la qualité des substrats de plaquettes. Il offre une méthode non-contact, non-invasive de mesure rapide et précise des dimensions critiques des plaquettes jusqu'à 1 nm en précision verticale. Le programmeur On-Track crée un plan d'acquisition de données et stocke les données pour une analyse plus approfondie, tandis que l'actif d'examen automatique des défauts fournit une interface facile à utiliser pour l'inspection des défauts. Globalement, TENCOR 5500 Surfscan est un modèle de test et de métrologie de plaquettes très fiable qui fournit d'excellents résultats.