Occasion KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9216063 à vendre en France
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ID: 9216063
Inspection system
Locater blocks for wafers: 4" to 6", 8"
Upgraded with LCD screen instead of CRT
HeNe Laser.
KLA/TENCOR 5500 Surfscan est un équipement de test et de métrologie automatisé leader dans l'industrie. Il est conçu pour fournir des mesures d'inspection optique et de topographie de haute précision sur les plaquettes semi-conductrices. Les outils offrent des capacités de mesure répétables et de haute définition pour l'inspection et l'analyse des défauts en ligne et hors ligne. KLA 5500 Surfscan dispose d'un système multisenseur qui peut collecter une variété de données à partir d'un seul essai. Cela comprend les images optiques de la plaquette, les mesures topographiques telles que la hauteur et la planéité des marches, le profil, les images de coupe transversale SEM, l'identification et l'alignement des caractéristiques, et la superposition. TENCOR 5500 Surfscan utilise également une nouvelle commande de mouvement en optique flottante pour assurer une gamme complète de mouvements autour de la plaquette et une unité de cartographie haute résolution pour capturer les points de données sur l'ensemble de la plaquette. La machine comprend également des capacités d'examen des défauts avec un algorithme automatisé de détection des défauts pour identifier rapidement les caractéristiques problématiques sur la plaquette. Il dispose d'un outil automatisé de suivi, d'analyse et de rapport des défauts pour identifier les défauts liés au processus, ainsi que de prendre en charge plusieurs langues, permettant aux clients d'interagir avec l'actif dans leur propre langue. L'UCK offre également une gamme complète de normes d'inspection, de matériel et de logiciels de collecte de données, et de services d'étalonnage de tiers pour assurer la collecte et l'analyse de données exactes. 5500 Surfscan est devenu un choix populaire dans l'industrie grâce à sa conception robuste et sa capacité à fournir des mesures fiables et reproductibles. Le modèle de cartographie haute résolution, la capacité de capturer une variété de données et les capacités automatisées d'examen des défauts en font une solution idéale pour les applications de métrologie de wafer. Avec ses puissants logiciels, sa fabrication automatisée et ses capacités de reporting intégrées, KLA/TENCOR 5500 Surfscan fournit une solution complète de test de plaquettes pour les fabricants de semi-conducteurs dans le monde entier.
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