Occasion KLA / TENCOR 6100 #9250107 à vendre en France

KLA/TENCOR 6100 Wafer Testing and Metrology Equipment est un outil entièrement automatisé d'inspection des wafers conçu pour rationaliser les processus de fabrication des wafers et maximiser le rendement. Il est composé de plusieurs composants, dont un poste de logement automatisé de plaquettes, un système de scanner d'étages et un certain nombre de modules de métrologie automatisés. Le poste de rangement automatisé comprend un carrousel de chargement par lots pouvant contenir jusqu'à 66 plaquettes de 8 pouces. Cela garantit que l'unité peut fonctionner en douceur et efficacement sans la présence manuelle constante d'un technicien. Le scanner de scène est la plate-forme motorisée conçue pour déplacer les plaquettes et les livrer au bon module de métrologie. Il consiste en des guides à queue d'aronde de précision pour un mouvement lisse avec deux codeurs rotatifs pour un déplacement rapide vers les positions définies. Il peut également détecter une différence de hauteur allant jusqu'à 10 microns, permettant une mesure précise. Le module de métrologie permet une mesure rapide et précise des paramètres critiques d'une plaquette, comme l'épaisseur. L'outil utilise un interféromètre pour mesurer l'épaisseur en mode mono ou multi-longueurs d'onde. Il utilise également l'ellipsométrie spectroscopique pour mesurer l'épaisseur du film, la rugosité de surface et les constantes optiques. Les autres fonctionnalités incluses sont le calibrage de scène et le support de vision avec un appareil photo numérique. KLA 6100 est un outil essentiel pour les fabricants d'appareils qui cherchent à améliorer leur rendement en plaquettes et à maximiser leur rendement. C'est un atout rapide, fiable et précis qui garantit un niveau élevé de qualité et de précision avec un minimum de temps et d'effort. Avec ses capacités de métrologie précises et la manipulation automatisée des plaquettes, TENCOR 6100 est idéal pour une large gamme d'applications de traitement des plaquettes.