Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan #177831 à vendre en France

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KLA / TENCOR / PROMETRIX 6200 Surfscan
Vendu
ID: 177831
Taille de la plaquette: 6"
Inspection system, 6", parts system Specifications: Arm type: Single Defect sensitivity: 0.13 micron defect sensitivity @ 80% capture, based on PSL standards Repeatability: 0.5% at 1 standard deviation Accuracy: Accuracy within 1% Measurement range: 0.08um to 9999um Throughput: Up to 150 wafers per hour using 6" wafers Contamination: Less than 0.5 particles/cm squared greater than 0.15um diameter per single pass Laser power: 9.9~8A Missing some PCB parts.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour mesurer les paramètres de surface des plaquettes semi-conductrices. Ce système utilise une imagerie réfléchissante à haute résolution et des capteurs de métrologie avancés afin de mesurer avec précision les caractéristiques atomiques et nanostructurales de la surface de la plaquette. Grâce à cette unité, les utilisateurs peuvent mesurer facilement et rapidement tous les types de caractéristiques de surface, telles que la rugosité des bords de ligne et les étapes atomiques, et les analyser en profondeur. KLA 6200 Surfscan intègre également des sondes de balayage non métrologique qui permettent d'analyser les défauts et la contamination tels que les particules piézo ou les trous de pincement lithographiques. Cet outil est conçu pour mesurer des plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre, et il peut également être utilisé dans un environnement configurable aux UV, ce qui le rend adapté à des applications avancées qui nécessitent un éclairage UV. En outre, TENCOR 6200 Surfscan dispose d'un atout de vision à double zone, qui consiste en un microscope optique et un modèle de vision, permettant des mesures détaillées et l'analyse de petits détails qui autrement ne seraient pas visibles par les méthodes d'imagerie traditionnelles. PROMETRIX 6200 Surfscan est également équipé d'un logiciel d'étape et de réflectométrie, qui permet une imagerie tridimensionnelle et topographique très précise de la surface de la plaquette. Cela permet une analyse détaillée de l'uniformité de surface et des microstructures au niveau atomique, ainsi que des nanostructures qui ne peuvent pas être mesurées à l'aide d'autres techniques. De plus, 6200 Surfscan est livré avec un équipement opto-mécanique qui se compose d'un opticalbench, d'un objectif et d'un détecteur, tous conçus pour assurer la stabilité et la précision de la structure à tout moment. Pour tirer le meilleur parti de ce système, il peut être couplé avec d'autres dispositifs tels que l'appareil photo numérique ou la sonde de mesure de résistance. La sonde de mesure de résiste permet la collecte de données au niveau atomique, qui peuvent ensuite être utilisées pour générer des caractéristiques électriques très précises telles que la capacité ou la résistance. Ces données peuvent être utilisées pour affiner la conception des puces et des dispositifs semi-conducteurs. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan est une puissante unité de test et de métrologie de plaquettes à la pointe de la technologie, conçue pour fournir une analyse très précise et détaillée des paramètres de surface et des caractéristiques électriques des plaquettes à semi-conducteurs. Cette machine est adaptée à une grande variété d'applications, y compris la métrologie de précision, l'optimisation de la conception et la surveillance de la contamination.
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