Occasion KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293745466 à vendre en France
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KLA/TENCOR 6200 est un équipement d'essai et de métrologie de pointe conçu pour permettre aux fabricants d'améliorer leurs rendements et leur qualité dans la production de plaquettes semi-conductrices. Ce système automatisé fonctionne en analysant les plaquettes pour identifier rapidement les défauts sur la surface de la plaquette, aidant à la qualification rapide et précise des plaquettes et à l'évaluation du rendement. L'unité offre également des capacités complètes de mesure de métrologie pour une variété de paramètres différents, y compris la géométrie et l'uniformité de la surface de la plaquette. Cette machine utilise des technologies de pointe pour augmenter ses capacités d'inspection des derniers substrats de plaquettes semi-conductrices, comme la topographie de substrat 3D et l'inspection Die-to-Die (D2D) basse tension. Il est également équipé d'une architecture CamOpen puissante, qui offre un excellent débit, efficacité de détection et rapidité d'analyse des données. Il offre une interface utilisateur intuitive mais flexible, ce qui facilite la configuration et le fonctionnement. KLA 6200 dispose d'une architecture d'outils entièrement intégrée, comprenant une imagerie haute résolution et des balayages 3D précis, pour mesurer les caractéristiques physiques et électriques de la plaquette. Ses systèmes optiques sont en mesure de détecter des défauts tels que les écaillements de bord, la rugosité de surface et les contaminants de particules étrangères, ainsi que la largeur de ligne, la rugosité de bord de ligne, les dimensions critiques et les chevauchements de filière. L'actif peut également mesurer et analyser le pitch die-to-die, les gradients de fin de ligne, la planéité du substrat et l'enregistrement du dos. Il est alimenté par des algorithmes et des logiciels sophistiqués qui fournissent des statistiques précises et détaillées, ainsi que des images détaillées pour identifier clairement et sans ambiguïté tout défaut. En outre, le modèle peut être facilement intégré dans les systèmes existants de gestion, d'analyse et d'examen des données de fabrication afin d'accélérer la résolution des problèmes. Les clients peuvent bénéficier d'un large éventail d'options, y compris la personnalisation de l'équipement pour répondre aux exigences de chaque processus de fabrication spécifique. Il offre des mises à niveau évolutives du système, telles que des cartes matérielles programmables et des logiciels, qui offrent une plus grande flexibilité et des performances améliorées. La plateforme TENCOR 6200 est capable de contrôler entièrement les expériences de post-traitement, d'analyse et de compte rendu afin d'assurer une précision et une précision maximales. Dans l'ensemble, 6200 est une unité puissante qui offre des capacités avancées pour l'inspection, l'essai et la métrologie des plaquettes semi-conductrices. Sa technologie économique et fiable garantit des performances élevées en matière de qualification des plaquettes et d'évaluation du rendement, ce qui la rend idéale pour les fabricants qui cherchent à maximiser leurs rendements.
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