Occasion KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293776296 à vendre en France

KLA/TENCOR SFS 6200 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes utilisé par les fabricants de semi-conducteurs pour mesurer des paramètres sélectionnés de circuits intégrés sur une plaquette de silicium. Le système combine une capacité d'essai des plaquettes très précise avec un faisceau d'ions focalisé (FIB) pour l'imagerie de surface haute résolution et un faisceau d'électrons pour la préparation et l'analyse des échantillons. La machine comprend un environnement avancé de reconnaissance des motifs pour corréler les données du niveau de la matrice aux caractéristiques de la surface de la plaquette. Pour les essais, KLA SFS 6200 utilise deux méthodes : électrique et optique. Le test électrique consiste à offrir des stimuli électriques au dispositif, puis à mesurer les réponses et à les utiliser pour identifier les défauts. Les tests optiques utilisent un microscope électronique à balayage pour visualiser la surface de la plaquette. En comparant les mesures entre les plaquettes, les ingénieurs sont en mesure de détecter les différences dans les paramètres tels que le profil de bord, l'alignement de recouvrement, la linéarité des dimensions critiques et le rendement. De plus, l'outil est capable d'identifier les défauts et les écarts dans ces mesures et d'alerter l'utilisateur. La section FIB de TENCOR SFS6200 contient trois chambres, ce qui permet à l'utilisateur d'effectuer la portée du volume, l'imagerie de surface et la préparation d'échantillons spécifiques au site. L'actif est équipé d'une colonne à vide élevé, d'une haute précision et d'un contrôle dynamique de niveau, et d'une imagerie haute résolution pour s'assurer que les images produites sont de la plus haute qualité possible. La chambre FIB contient également un module de géométrie et de contrainte, qui est utilisé pour mesurer le coefficient de dilatation thermique locale et l'empilement de surface de l'échantillon. La section de faisceau d'électrons de SFS 6200 permet la préparation d'échantillons par le revêtement de pulvérisation et fournit une imagerie haute résolution. Le faisceau d'électrons du modèle est capable de pénétrer plus profondément dans le matériau que le FIB et permet à l'utilisateur de détecter des défauts de sous-surface sur l'échantillon. Ceci permet une meilleure compréhension du dispositif ou du procédé étudié. En plus des essais de plaquettes et de la métrologie, KLA/TENCOR SFS6200 peut également être utilisé pour l'examen des défauts, l'analyse des défaillances et l'ingénierie des produits. Sa conception robuste et à haut débit en fait une option idéale pour les fabricants de semi-conducteurs qui ont besoin de tests précis et de résultats en temps opportun.