Occasion KLA / TENCOR 6200 #293610590 à vendre en France

KLA / TENCOR 6200
ID: 293610590
Inspection system.
KLA/TENCOR 6200 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il fournit des mesures de dimensions critiques automatisées et une inspection optique avec une précision et une répétabilité inégalées. KLA 6200 utilise une technologie optique de pointe, y compris un microscope interférométrique très précis équipé d'un lecteur linéaire XYZ entièrement automatisé. Ce lecteur permet des mesures précises des coordonnées, des hauteurs de caractéristiques, de la superposition et des dimensions critiques. Le système comprend également une source lumineuse laser de grande puissance et un balayage vertical et latéral à haute résolution. Cette combinaison de caractéristiques permet des mesures extrêmement précises et une analyse quantitative des structures semi-conductrices. TENCOR 6200 est également équipé d'un progiciel de renseignement avancé qui permet la détection et la classification automatisées des défauts. Cette technologie puissante permet d'identifier avec précision les cas d'asymétrie, de géométrie irrégulière, de hauteur excessive et d'autres défauts couramment rencontrés. 6200 dispose également d'une suite de capacités de test de plaquettes. Il offre une gamme de méthodes de test automatisées, y compris la sonde en ligne à 4 points, la CDC (caractérisation dépendant des puces) et la SOT (scan-on-test). L'unité fournit des mesures rapides et précises des caractéristiques de l'appareil avec les niveaux de répétabilité et de sensibilité les plus élevés. De plus, KLA/TENCOR 6200 offre des capacités améliorées d'inspection des plaquettes. Il offre une caractérisation automatisée des défauts des semi-conducteurs, y compris l'examen des défauts die-by-die avec classification des défauts, la détection des défauts microscopiques, l'analyse de l'enregistrement des motifs et la mise au point automatisée du champ plat. En résumé, KLA 6200 est une machine avancée pour la métrologie des semi-conducteurs et le test des plaquettes. Il offre une technologie optique améliorée et des fonctionnalités de renseignement automatisé, y compris des mesures de précision, l'identification automatisée des défauts, et une gamme de capacités de test de plaquettes. L'outil fournit aux fabricants de semi-conducteurs une solution fiable et rentable pour l'assurance qualité et le contrôle des processus.
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