Occasion KLA / TENCOR 6200 #293656105 à vendre en France
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KLA/TENCOR 6200 est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe qui offre des capacités de cartographie 3D non destructive de haute précision. Son capteur optique à deux étages avancé dispose de systèmes optiques indépendants de calibration avec un pas de pixel minimum de 0,3 µm, ce qui le rend idéal pour l'identification quantitative de tailles de caractéristiques extrêmement petites, comme celles que l'on trouve dans les plaquettes semi-conductrices. L'unité d'éclairage intégrée à deux étages et le capteur proche infrarouge (NIR) de ce système permettent de collecter plusieurs couches de données en une seule mesure. Pour le contrôle de la qualité et l'optimisation des processus, le KLA 6200 offre des capacités de mesure 3D rapides, précises et non destructives. Cette machine est capable de mesurer chaque caractéristique à la surface d'une plaquette avec jusqu'à 16 niveaux de détail, fournissant des résultats rapides et précis. TENCOR 6200 offre également un nettoyage automatisé des surfaces et un balayage à sec, tandis que les fonctions de traitement automatisé des images ont encore simplifié le processus d'inspection et réduit le besoin d'intervention manuelle. Toutes les données recueillies sont stockées pour une utilisation future, ce qui permet de rappeler rapidement les données traitées et non traitées. De plus, 6200 présente une résolution latérale précise de 0,5µm et une sensibilité maximale de 70nm. Cela permet de mesurer des substrats plus épais jusqu'à 3mm inclus tout en maintenant une précision de 5nm ou mieux. Sa large gamme dynamique s'étend de 0,005 à 1000 µm, ce qui le rend hautement adapté à l'analyse de formes et de contours de surface complexes. L'interface graphique conviviale (interface graphique) de KLA/TENCOR 6200 facilite la mise en place, l'apprentissage et l'exécution même des protocoles d'inspection des plaquettes les plus complexes. Les outils d'analyse intégrés de cet outil permettent la reconnaissance des motifs, le suivi des défauts et la recherche de points de données, ce qui en fait un choix idéal pour les tests au niveau des plaquettes et la métrologie. En résumé, KLA 6200 est un outil puissant et polyvalent de test de plaquettes et de métrologie qui offre des capacités de mesure 3D rapides et précises. Son nettoyage automatisé des surfaces et son balayage à sec, sa résolution latérale précise et sa large gamme dynamique le rendent parfaitement adapté à l'analyse de formes et de contours de surfaces complexes. En outre, son interface graphique conviviale simplifie la configuration et le fonctionnement de ce modèle, ce qui en fait un choix idéal pour les tests et la métrologie au niveau des plaquettes.
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