Occasion KLA / TENCOR 6200 #64476 à vendre en France

KLA/TENCOR 6200 est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour assurer une surveillance rapide des processus et une analyse rapide des données. KLA 6200 est un système automatisé capable de mesurer les propriétés de surface et d'épaisseur des plaquettes, de traiter de grands volumes de données, d'identifier les anomalies et de trier et suivre plusieurs échantillons. L'unité dispose d'une plate-forme de support de plaquettes, la cassette et le chargeur, où les plaquettes sont chargées et déchargées. TENCOR 6200 est équipé d'un certain nombre d'outils de métrologie dont l'interféromètre à lumière blanche (SLIM), la scatterométrie, la réflectométrie optique, la scatterphotométrie et les profileurs de surface 3D. Le SLIM fonctionne avec une pressurisation atmosphérique pour réduire le risque de contamination de l'atmosphère à la surface de la plaquette. En outre, 6200 peut effectuer à la fois la métrologie sans contact et contact. Pour l'analyse des données et la surveillance de l'état, KLA/TENCOR 6200 est intégré au logiciel IntelliWafers de KLA. IntelliWafers est une suite d'applications logicielles intégrées conçues pour préparer, analyser et rendre compte des données d'inspection des wafers. Il fournit un ensemble complet de caractéristiques, y compris la capacité d'effectuer une analyse statistique automatisée des wafers de processus, ainsi que la surveillance des processus en temps réel. IntelliWafers peut générer des rapports et des placettes de données qui fournissent un aperçu des métriques de processus critiques, ainsi que des tendances dans les variations et les anomalies de processus. En termes de débit, KLA 6200 peut tester jusqu'à 300 pièces par heure. Il peut également être facilement intégré dans une variété d'autres systèmes, en ligne et hors ligne. En outre, il peut être configuré pour répondre aux exigences de diverses applications, y compris le test de wafers à haut rapport d'aspect. En résumé, TENCOR 6200 est une machine d'essai et de métrologie de plaquettes très efficace qui peut fournir une surveillance rapide des processus, une analyse rapide des données et des rapports complets. Son large éventail de fonctionnalités le rend adapté à une variété d'applications et son débit à grande vitesse lui permet de traiter rapidement de grands volumes de données. Enfin, l'outil est intégré au logiciel IntelliWafers, qui assure l'analyse statistique automatisée, le suivi des processus en temps réel et l'analyse complète des données.