Occasion KLA / TENCOR 6210 Surfscan #9412434 à vendre en France
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KLA/TENCOR 6210 Surfscan machine est un équipement haut de gamme de test de plaquettes et de métrologie utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système permet de mesurer avec précision les détails critiques du processus sur les plaquettes, tels que l'uniformité des surfaces et les paramètres géométriques dans la gamme micron. Il est capable d'acquérir des données précises sur ces paramètres dès les premiers stades de la fabrication du dispositif afin d'assurer la rapidité et la fidélité du processus. KLA 6210 Surfscan utilise une technologie de métrologie optique basée sur la triangulation à haute résolution pour mesurer les propriétés transversales et internes avec une grande précision. Cette unité est conçue pour un fonctionnement sans contact, à haut débit, répétable et fiable. La précision des lectures générées par la machine est assurée grâce à la capacité de balayage latéral de la machine, avec des caméras de haute fidélité, des optiques et des systèmes d'éclairage. De plus, la machine offre la flexibilité nécessaire pour effectuer facilement diverses mesures de métrologie sans intervention de l'utilisateur. Afin d'assurer les mesures de précision les plus élevées, TENCOR 6210 Surfscan est conçu avec un outil d'interférométrie laser. Cet actif est capable de mesurer de très petites variations de la surface de la plaquette aussi petites que 0,1 nanomètres. La vitesse de balayage est également réglable et peut varier de 0,25 à 7 mm/s tout en conservant une excellente précision. Cela rend plus pratique de mesurer des surfaces de plaquettes en mouvement rapide. Les données recueillies par le modèle sont utilisées dans la caractérisation et l'optimisation de divers procédés semi-conducteurs ainsi que pour la classification automatisée des défauts. Les relevés de l'équipement permettent également l'analyse des pannes, ce qui contribue à améliorer le flux de processus et à réduire les coûts. 6210 Surfscan est également conçu pour faciliter la connectivité, permettant une intégration avec d'autres systèmes pour une manipulation facile des données. La machine dispose également d'une interface logicielle conviviale qui fournit un flux de travail intuitif. En conclusion, KLA/TENCOR 6210 Surfscan wafer testing and metrology system est un outil puissant qui permet des mesures précises et fiables des surfaces des wafers, même au tout début de la fabrication des appareils. La machine comprend également une unité d'interférométrie laser qui permet de mesurer avec précision les très faibles variations de la surface de la plaquette. En outre, la connectivité facile et l'interface logicielle conviviale le rendent facile à intégrer avec d'autres systèmes et à utiliser les données collectées.
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