Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #139951 à vendre en France

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ID: 139951
Taille de la plaquette: 4" - 8"
Style Vintage: 1996
Inspection system, 4" - 8" Specifications: Sensitivity: 0.09 ㎛ at > 80% Capture rate ( latex spheres on bare silicon ) Throughput: 100 wph ( 200mm wafers ) at 0.12㎛ Repeatability: Within 0.5% δ ( Mean count >500, 0.364㎛ diameter latex spheres Illumination: Source: 30mW Argon-Ion Laser, 488nm Sample Sizes : 100mm to 200mm ( smaller sizes upon request ) round or square samples Configuration: Wafer Size: 100mm ~ 200 mm Power: 208V, 17A, 1Phase,60Hz Main Frame: CRT Monitor Keypad Mouse FDD Cassette plate System Controller Card Cadge . Slot 1 Video Card . Slot 2 N/A . Slot 3 CPU Board . Slot 4 Timing Generator Board . Slot 5 Haze Separator Board . Slot 6 Particle Area Processor Board . Slot 7 N/A . Slot 8 GPIO Board . Slot 9 Motor Controller Board . Slot 10 SECS Board . Slot 11 Ethernet Card . Slot 12 N/A . Slot 13 N/A HDD ( -2-EA ) Laser Power Supply Uniphase Laser ( 2214-30SLT ) Mainn Cucirt Breaker Cassette Plate Currently stored in a warehouse 1996 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement automatisé de test et de métrologie des plaquettes conçu pour permettre un traitement plus rapide et plus fiable des plaquettes semi-conductrices. Il a la capacité de mesurer une large gamme de paramètres de la plaquette, y compris l'épaisseur de la surface et de la sous-surface du film, la planéité, la texture de la surface, le pic-à-vallée, la réflectivité de la surface et la présence d'imperfections. Le système offre la possibilité de mesurer jusqu'à 20 plaquettes par heure en utilisant des têtes de détection de lumière tridimensionnelles à faible force. KLA 6220 Surfscan est construit avec un boîtier durable et résistant à la corrosion qui est conçu pour gérer de façon fiable les mesures les plus difficiles. La structure de la machine est modulaire et offre la flexibilité nécessaire pour la configurer en fonction des besoins de l'utilisateur. Il dispose également de composants matériels et logiciels avancés pour assurer des mesures de haute précision. L'outil fonctionne selon les principes optiques de l'interférence de pas court, où l'interférence des faisceaux laser générée par le vide sonde les couches souterraines de la plaquette avant de revenir au photodétecteur pour analyse. Cela permet non seulement de mesurer l'épaisseur du film en surface et en sous-surface avec une précision allant jusqu'à 5 nm, mais aussi de vérifier les défauts, y compris ceux qui se trouvent sous la surface de la plaquette. L'interface graphique de l'actif est intuitive et fournit aux utilisateurs une gamme de mesures à partir de mesures en temps réel. Ces informations peuvent ensuite servir de rétroaction pour prendre des décisions éclairées sur les paramètres et les performances du processus de fabrication des plaquettes. TENCOR 6220 Surfscan est un modèle de test et de métrologie automatisé et robuste adapté à une gamme d'environnements de production. Il est conçu pour réduire le temps de traitement et améliorer la qualité du produit en fournissant des tests plus rapides, plus fiables et plus précis de plusieurs plaquettes simultanément. En tant que telle, il s'agit d'une solution idéale pour ceux qui recherchent une solution de test de plaquettes efficace, fiable et rentable.
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