Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #158592 à vendre en France

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ID: 158592
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Non-patterned wafer inspection system, 8" Can accommodate wafers from diameter, 2"-8" Sensitivity-particle: 117 Micro-meter diameter Latex spheres with >90% capture rate Haze: 1 ppm Minimum Cassette to cassette handling Defect sensitivity: 0.09 um dia PSL Sphere equivalent with greater than 80% capture rate Haze: Sensitivity: 0.02 ppm Minimum Resolution: 0.002 ppm Repeatability: Count repeatability error less than 0.5 percent at 1 standard deviation Throughput: 100 WPH (200 mm) at 0.12 um Contamination: Less than 0.005 particles/cm² greater than 0.15 mm dia per single pass Illumination source: 30mW Cassette handling: Single puck wafer handling from two cassettes (One sender / Receiver, one receiver) Electrical requirements: 200-240V, 50/60 Hz, 2 kVA 1996 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de nouvelle génération conçu pour répondre aux besoins accrus de l'industrie des semi-conducteurs en métrologie précise, fiable et répétable. La conception élégante de KLA 6220 Surfscan permet une grande manutention des plaquettes et un débit de haut niveau, tandis qu'une réduction du nombre de pièces, de composants et de services nécessaire soutient l'objectif ultime de réduction des coûts et d'amélioration de l'efficacité. Équipé d'un système optique à double axe et d'un étage de mouvement ultra précis, TENCOR 6220 Surfscan offre une imagerie dynamique en direct des surfaces des plaquettes avec un haut degré de résolution spatiale. L'unité comprend une interface utilisateur tactile intuitive et personnalisable, ainsi qu'une bibliothèque complète d'algorithmes d'analyse automatisés pour s'assurer que les résultats mesurés sont exacts et reproductibles. Pour répondre à diverses exigences, 6220 Surfscan peut gérer une variété de tâches de test, de métrologie et d'imagerie avec un haut niveau de précision et de précision. La machine de métrologie peut mesurer plusieurs couches ou différents matériaux avec un seul balayage, ainsi que recueillir des informations 3D sur la surface de la plaquette en utilisant la profilométrie Fourier-Transformée avancée (FT-PROF). De plus, KLA/TENCOR 6220 Surfscan dispose d'un outil de calibration intégré, ainsi que d'une suite complète d'outils de métrologie pour permettre une caractérisation et une analyse complètes de presque n'importe quelle surface de la plaquette avec un degré élevé de précision. KLA 6220 Surfscan est conçu pour fournir les performances nécessaires pour caractériser et mesurer des surfaces complexes, des dispositifs semi-conducteurs et d'autres composants microélectroniques. L'actif comprend un module de chargement des plaquettes, ainsi qu'un étage de mouvement de haute précision qui permet un balayage précis et répétable des surfaces des plaquettes. Le logiciel offre des capacités avancées d'acquisition d'images, de traitement d'images et d'analyse, tout en prenant en charge une variété d'applications, telles que la caractérisation des composants et des appareils, l'analyse des défaillances et la résolution des fonctionnalités. Le modèle est capable de mesurer avec précision plusieurs couches ou différents matériaux en un seul balayage, ainsi que d'effectuer des tâches d'imagerie avancées, telles que la reconnaissance et l'analyse des fonctionnalités, afin de réduire le temps d'inspection manuelle et de maximiser la productivité. En résumé, TENCOR 6220 Surfscan est un équipement puissant et polyvalent de test de plaquettes et de métrologie qui offre des performances exceptionnelles pour mesurer avec précision et fiabilité les caractéristiques des composants et surfaces microélectroniques en un seul balayage. L'interface utilisateur intuitive et l'étage de mouvement précis de 6220 Surfscan offrent un débit et une flexibilité de haut niveau, tandis que les capacités d'imagerie et d'analyse avancées garantissent des résultats fiables, reproductibles et précis.
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