Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #181364 à vendre en France

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ID: 181364
Style Vintage: 2001
Non-patterned Wafer Inspection System Model No.: 519928 Compatible for 2", 3", 82mm, 4", 5", 6", 8" Thickness: SEMI standard wafer thickness Material: Any opaque, polished surface which scatters less than 5 percent of incident light Smaller sizes factory-set at time of order Defect Sensitivity: 0.09 micrometer diameter PSL sphere equivalent with greater than 80 percent capture rate Haze/Sensitivity: 0.02 ppm minimum Resolution: 0.002 ppm Repeatability: Count repeatability error less than 0.5 percent at 1 standard deviation (Mean count greater than 500, 0.364mm dia. latex spheres) Count Accuracy: Better than 99 percent (verified with VLSI Standards’ Relative Standard) Spatial Resolution: 50mm spacing, minimum Dynamic Range: 0.07 micrometer to 9,999mm in a single measurement Throughput: 100 wph (200mm) at 0.12mm Contamination: Less than 0.005 particles/cm2 greater than 0.15 mm dia. per single pass Cassette Handling: Single puck wafer handling from two cassettes (one sender/receiver, one receiver) Illumination Source: 30 mW Argon-Ion laser, 488 nm wavelength Operator Interface: Mouse and/or dedicated user keypad Physical Characteristics/Height: 168 cm (66 in.) Shipping Weight: 300 kg (670 lbs) Installation Requirements/Vacuum: 508mm (20 in.) Hg. Electrical: 200-240V, 50/60 Hz Power Requirement: 2 kVA Ducted Venting: Two 102mm (4 in.) exhaust hoses Environment: Class 10 or better 2001 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui peut être utilisé pour une gamme de mesures de niveau de plaquettes. Il est basé sur le système d'inspection des plaquettes optiques KLA et combine différentes technologies optiques, dont la microscopie électronique à balayage (SEM), la microscopie à balayage laser (LSM) et la mesure des couches minces (TFM) pour détecter et quantifier les imperfections sur les plaquettes. KLA 6220 Surfscan a une variété d'applications. Il peut mesurer une gamme de paramètres de surface, y compris la planéité de la surface, la hauteur des marches, la largeur des lignes, les défauts de surface et les caractéristiques de diffusion. Cela fournit une rétroaction critique pour le contrôle des processus de wafer et les métriques de défauts. L'unité dispose de capacités de traitement de données pour l'analyse de la transformée de Fourier rapide (FFT) et les comparaisons d'écran à image. Il peut également minimiser les erreurs de biais de l'opérateur en utilisant des algorithmes avancés et l'automatisation. La 6220 offre des caractéristiques puissantes pour améliorer les performances des plaquettes. Il peut rapidement classer et classer les défauts en utilisant la reconnaissance de motifs basée sur le logiciel. Il permet également de mesurer rapidement plusieurs points de mesure sur une seule plaquette. De plus, il permet d'effectuer des routines d'automatisation complexes sur des plaquettes telles que la semiquantification au niveau du terrain, la cartographie des plaquettes et l'analyse de planarisation. TENCOR 6220 Surfscan peut être utilisé dans une variété d'applications, y compris les mesures die-to-die, chip-to-chip, package-to-die, et atom-to-atom. Il est capable de transférer des données de différents systèmes et réseaux, et dispose d'une grande capacité de stockage pour les résultats des essais. En outre, il est équipé d'une gamme de systèmes de protection pour améliorer la fiabilité et réduire les temps d'arrêt. 6220 Surfscan est conçu pour une utilisation efficace et efficiente en test de plaquettes et métrologie. C'est une machine automatisée économique qui est conçue pour la répétabilité et la précision. Ses technologies optiques de pointe permettent de détecter et de quantifier les défauts sur les plaquettes. En outre, il dispose de capacités intégrées de traitement de données et de technologie de pointe pour la reconnaissance de modèles et des mesures rapides.
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