Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #188564 à vendre en France
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ID: 188564
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Non-patterned Wafer Inspection System, 8"
Load port type: dual open cassette
Chuck: 6"-8", can be converted to 5"
Environmental requirements
Vacuum: 508 mmHg
Ducted Venting: (2) 102 mm exhaust hose
Environment: Class 10 or better
200-240 V, 50/60 Hz, 2 kVA.
L'équipement KLA/TENCOR 6220 Surfscan Wafer Testing and Metrology est un outil très avancé et sophistiqué qui est spécifiquement conçu pour mesurer et inspecter la topographie des plaquettes et autres dispositifs. Il utilise l'interférométrie pour mesurer la hauteur d'une surface avec une précision et une précision extrêmement élevées. Il peut être utilisé pour diverses applications, y compris la caractérisation des surfaces sur les dispositifs semi-conducteurs et les plaquettes, l'exploration de nouveaux matériaux, la validation des instructions et la comparaison des procédés de fabrication. Le système KLA 6220 Surfscan est capable de mesurer des caractéristiques extrêmement petites avec une grande précision et précision. Il utilise un interféromètre corrigé de l'inclinaison et un autocollimateur numérique pour créer un diagramme d'interférence de la surface balayée qui est ensuite utilisé pour mesurer avec précision les hauteurs exactes. Il comporte quatre configurations de mesure compensées en inclinaison pour tenir compte des variations de la topographie de la surface de l'échantillon. L'unité est équipée d'une capacité de balayage rapide et peut prélever des échantillons à 12 000 points de données transversaux par seconde, ce qui est essentiel pour garantir des résultats de mesure précis et précis. Cette machine peut également être utilisée pour analyser différents types de caractéristiques et de surfaces, tels que les films conducteurs, les revêtements, les caractéristiques d'usure, les profils de surface d'usure et les variations d'épaisseur. De plus, l'outil est capable de mesurer ; taille des caractéristiques de moins de 10nm, mouvement de tangage, sa mesure sans contact et l'immunité de l'environnement contre la température, les vibrations et la pression de l'air. Il dispose également d'un assistant Autofocus qui peut ajuster automatiquement le foyer de l'actif pour une surface donnée et peut même détecter la présence de contaminants sur la surface de l'échantillon. TENCOR 6220 Surfscan dispose également d'une interface utilisateur graphique facile à utiliser qui aide à naviguer sur le modèle et permet aux utilisateurs de personnaliser leurs mesures en fonction de leurs besoins spécifiques. En plus, cet équipement dispose d'un système de gestion thermique qui surveille activement les températures internes et optimise les performances de l'appareil. Ceci est important car il assure que la machine produira des résultats précis et fiables. Dans l'ensemble, 6220 Surfscan est un outil de test et de métrologie de plaquettes puissant et sophistiqué qui convient parfaitement aux applications nécessitant des mesures fiables et précises de profils de surface physiques très détaillés. De l'inspection et de l'analyse des surfaces des plaquettes à la réalisation de mesures précises des caractéristiques d'usure et des films, cet atout est capable d'effectuer un large éventail de mesures complexes et détaillées avec facilité.
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