Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #293602408 à vendre en France

KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement de test et de métrologie de wafer de pointe. Il est conçu pour un large éventail d'applications, y compris l'examen des défauts, la lithographie/surveillance des gravures, la mesure des films et l'inspection des superpositions. Le système est équipé des derniers systèmes de mouvement et d'imagerie qui lui permettent d'atteindre des niveaux élevés de précision et de précision. Le Surfscan KLA 6220 dispose d'une plate-forme de balayage 6 axes à grande vitesse et est piloté par un système DSP de niveau Quad pour des mouvements de scène ultra-précis. Son balayage à grande vitesse et son large éventail de capacités de mouvement offrent des balayages hautement reproductibles supérieurs, permettant une meilleure vérification du rendement. L'unité intègre des capacités d'imagerie avancées KLA incluant un choix de caméras couleur haute résolution, chacune avec son propre champ de vision. La machine est capable d'inspecter jusqu'à 6 ″ 10mil diepad à une précision CD 0,25micron et peut détecter les défauts de taille et les anomalies de forme jusqu'à 2 microns. L'outil supporte également la déviation du faisceau laser haute résolution et le profilage de ligne de balayage avec une résolution étonnante de 20 μ m. L'actif intègre Active Area Scans (AAS) pour révéler des données à haut rendement de résolution, double balisage et information de défaut 3D et dispose de capacités étendues pour l'inspection optique automatisée (AOI). Il intègre également la diffraction de pointe (LED), l'identification chimique et l'imagerie, l'identification chimique sans imagerie (CIWI) ainsi que les capacités de métrologie pour les CD critiques et sur les caractéristiques critiques des structures de barres 3D. Le modèle TENCOR 6220 Surfscan est modulaire et configurable par l'utilisateur pour plus de flexibilité et d'uniformité des processus. Il offre une variété d'options matérielles et logicielles adaptables, telles que des écrans plats, un contrôle environnemental automatisé, une architecture ouverte RCP, des solutions personnalisées et des solutions d'analyse de données. 6220 Surfscan est conçu pour aider à améliorer le contrôle des processus, ainsi que d'inspecter une grande variété de dimensions de semi-conducteurs, niveaux de défauts et paramètres de processus. C'est un moyen fiable et rentable de maintenir la qualité des puces et de prolonger les cycles de vie des appareils.