Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9052288 à vendre en France

KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un outil optique automatisé et sans contact utilisé pour les essais de plaquettes et la métrologie. Cet équipement combine la technologie optique éprouvée utilisée dans son prédécesseur, le 6200 Surfscan, avec des algorithmes avancés de traitement d'image pour fournir une mesure de haute précision de la topographie de surface. Cela comprend la mesure des paramètres de profil de surface, tels que la rugosité de surface, les hauteurs de pas et d'entrefer, et les angles effilés. KLA 6220 Surfscan est équipé d'un profileur laser, d'un étage de plaquettes motorisé à quatre axes et d'un microscope automatisé, alimenté par une caméra CCD. Lorsque le système est utilisé pour la métrologie des dimensions critiques, le profileur balaye la surface de la plaquette avec de la lumière laser pour mesurer son contour. Le microscope et l'étage motorisé se déplacent à travers la plaquette pour capturer la forme 3D de la plaquette. Ces données sont ensuite utilisées pour mesurer les dimensions critiques du dispositif et identifier les défauts de particules ou de topographie à sa surface. TENCOR 6220 Surfscan dispose d'un certain nombre de fonctionnalités qui en font un outil inestimable pour le test des plaquettes et la métrologie. Il dispose d'un processus automatisé qui permet l'analyse simultanée de grandes plaquettes et de dispositifs. Il dispose d'une puissante unité de traitement d'image, qui dispose d'un flux de travail personnalisable pour différents types de tâches d'inspection. La machine dispose également d'un algorithme de scan de dérive qui compense automatiquement les vibrations et les changements de température qui peuvent affecter la précision des mesures. L'outil peut être utilisé pour une grande variété d'applications de test de wafer et de métrologie, telles que la détection et l'analyse de défauts, la mesure de Wafer Critical Dimension (WCD) et les mesures de topographie de wafer. 6220 Surfscan actif peut détecter des particules allant de quelques nanomètres à plusieurs microns de taille sur une variété de wafers et de matériaux de wafer. Il est idéal pour mesurer les dimensions critiques des MEMS et autres dispositifs nanoélectroniques. KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un modèle puissant et polyvalent de test de plaquettes et de métrologie. Il combine une technologie de mesure optique de haute précision, des algorithmes avancés de traitement d'images et un processus automatisé pour en faire un outil idéal pour une variété d'applications de test de plaquettes et de métrologie. Il est capable de mesurer avec précision les paramètres du profil de surface et de détecter les défauts de particules sur une variété de plaquettes et de types de matériaux, ce qui en fait un outil indispensable pour la fabrication de dispositifs nanoélectroniques.