Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9110913 à vendre en France

KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe utilisé dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. La 6220 utilise la microscopie optique haute résolution et les technologies interférométriques pour détecter, analyser et évaluer les défauts à la surface des plaquettes semi-conductrices. Il est le dernier en date de la famille Surfscan offrant les capacités de détection et de classification des défauts les plus avancées, ce qui en fait un outil idéal pour l'optimisation des processus et le contrôle de la qualité. Le 6220 utilise un microscope optique de précision très sensible, permettant une imagerie haute résolution des caractéristiques de surface sur la plaquette. De plus, l'interférométrie de balayage en longueur d'onde (WSI) est incorporée pour mesurer les hauteurs et les gradients de surface. Le système intégré utilise la métrologie multi-modes, fournissant simultanément WSI, interférométrie de balayage vectoriel (VSI), et analyse de soustraction d'image. WSI détecte les caractéristiques de topographie de surface les plus subtiles, tandis que VSI effectue des mesures 3D plus détaillées de la topographie. Enfin, la méthode de soustraction d'image évalue les différentes couches sur la plaquette, et compare deux plaquettes après dépôt de chaque couche. Le logiciel de pointe 6220 permet aux utilisateurs de localiser et d'identifier avec précision les défauts répartis au hasard, d'évaluer la rugosité de surface de chaque plaquette et de classer les défauts selon les profils standard de l'industrie. Il permet également d'automatiser le processus de détection et de classification. L'unité est capable d'une large gamme de résolutions de mesure de 0.2nm à 20nm, fournissant des résultats d'analyse extrêmement précis et précis. En outre, le KLA 6220 compact et modulaire dispose de capacités de balayage direct et d'imagerie, permettant une large gamme de configurations et de mesures de sonde sans contact. Sa machine automatique de translation de plaquettes à deux étages assure un positionnement précis et un contrôle d'étage pour une répétabilité élevée. L'outil offre également une gamme dynamique étendue, une plus longue durée de vie de la batterie, une plus grande capacité de plaquette, et un actif de gestion thermique amélioré, permettant une meilleure performance et précision. Au total, KLA 6220 Surfscan est un outil idéal pour l'optimisation avancée des processus et le contrôle de la qualité. Il fournit des capacités avancées de détection et de classification des défauts, supportant un large éventail de résolutions de mesure, offrant des résultats précis et précis. Associé à sa conception compacte, sa modularité et sa longue durée de vie, le Surfscan 6220 est un choix idéal pour la production et la recherche de dispositifs semi-conducteurs.