Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9115142 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 9115142
Taille de la plaquette: 4"-8"
Unpatterned surface inspection system, 4"-8"
SMIF
Substrates: 4"-8"
Automatic wafer handler
Sensitivity most surfaces: 0.20µm @ 95%
Polished surfaces: 0.10µm @ 95%
Capture rate: 0.12µm Defect sensitivity on bare silicon
Repeatability: < 1.0%
Standard deviation
Contamination:
Less than 0.005 particles
Greater than 0.15µm
Includes:
SP1/TBI: 4 Station, single open cassette, DFIMS
SP1/DLS: 4 Station, single open cassette, DFIMS
SP2 and SP2/XP: DFIM, 12"
Haze sensitivity: 0.02 ppm
Defect map and histogram with zoom
Illumination source: 30 mW
Argon-Ion laser
Wavelength: 488 nm
2D Signal integration
Spatial resolution: 50µm
Non-contaminating robotic handler
Random access sender / receiver unit.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour l'assurance qualité dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Grâce à sa technologie de pointe, le Surfscan offre des fonctionnalités pour garantir le contrôle des processus et la qualité des produits. Le système Surfscan efficace permet des tests rapides non destructifs, affichant les résultats en temps réel pour assurer un meilleur contrôle des processus. L'unité est livrée avec une capacité de mesure E-beam intégrée configurable qui fournit une forme de haute précision et des mesures de dimensions critiques, permettant aux utilisateurs de valider le contrôle du processus. Le Surfscan dispose d'une interface utilisateur graphique intuitive qui permet aux utilisateurs de configurer rapidement et facilement des tâches de test et de les stocker pour une utilisation future. La machine graphique est hautement personnalisable, assurant aux utilisateurs une adaptabilité maximale à leurs processus uniques. Le Surfscan offre également des performances de débit élevées, avec son débit de wafer à wafer haute performance réduisant le besoin de chargement manuel. L'outil peut manipuler des plaquettes jusqu'à huit pouces de diamètre et jusqu'à deux microns d'épaisseur, et est également compatible avec la technologie d'inspection ultra-lisse brevetée KLA. En outre, l'actif est conçu avec des fonctions de contrôle des processus statistiques avancées, ce qui permet à l'utilisateur d'analyser les variables clés du processus et de détecter les conditions potentielles hors de contrôle avant que des problèmes de processus importants surviennent. KLA 6220 Surfscan est un modèle puissant et fiable qui offre une grande précision, une excellente flexibilité et une facilité d'utilisation. Avec ses caractéristiques robustes et fiables, c'est une solution idéale pour l'assurance qualité dans les processus de fabrication de semi-conducteurs.
Il n'y a pas encore de critiques