Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9137178 à vendre en France

KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie utilisé pour l'inspection non destructive des défauts et pour caractériser la topographie de surface. Il est conçu pour les plaquettes de 300 mm, et peut inspecter plusieurs plaquettes en parallèle. Le système est capable de mesurer des hauteurs de surface extrêmement basses et extrêmement élevées. Il est rapide, fiable et précis, et idéal pour l'assurance de la qualité et les applications de développement de processus. Au cœur de l'unité se trouve la technologie BIB exclusive KLA (Burst Illumination Brightfield). Ceci utilise un tableau de petites LED pour émettre des rafales de lumière qui pénètrent la plaquette d'échantillon lorsque des données utiles sont requises. L'intensité de la diffusion peut alors être mesurée avec précision en tout point de la surface des plaquettes. Le résultat est un niveau de résolution incroyable qui est plusieurs fois supérieur aux systèmes d'inspection préalables. La machine 6220 est équipée de nombreuses autres fonctionnalités pour améliorer la fonctionnalité. Il dispose de deux caméras numériques, qui fournissent des images visuelles de plaquettes scannées. Il dispose également d'un étage double axe, qui peut positionner avec précision la plaquette dans jusqu'à neuf directions différentes pour des mesures complexes. De nombreux types de routines automatisées pour diverses mesures peuvent être programmées et exécutées dans l'outil. Pour permettre des comparaisons rapides entre plaquettes et découpes, l'actif supporte plusieurs algorithmes d'analyse d'images, tels que la cartographie BIS, les mesures de densité de particules et la classification des défauts de sous-pixels. Ces algorithmes d'analyse d'images permettent de mesurer ou de comparer automatiquement des données provenant de multiples sites en une seule mesure. Globalement, KLA 6220 Surfscan est un modèle de test et de métrologie fiable et puissant qui convient à une variété d'applications de traitement et de métrologie des plaquettes, telles que le rendement et l'amélioration des processus. Avec son large éventail de fonctionnalités avancées, il est un outil essentiel pour l'assurance de la qualité et le développement de processus dans l'industrie des semi-conducteurs.