Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9149402 à vendre en France
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Vendu
ID: 9149402
Taille de la plaquette: 6"
Wafer surface contamination analyzer, 6"
Unpatterned wafer inspection
Submicron sensitivity detects 0.10 micron particles
3-D views of individual defects
Color coded defct maps
Surface haze detection
Argon 488 30mW laser
Measurement range: 0.01-9999um
Haze sensitivity: 0.02ppm
Currently stored in cleanroom.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir une analyse de surface haute résolution des plaquettes semi-conductrices. Avec une gamme de dimensions allant jusqu'à 200mm, le système est un outil polyvalent pour tester, caractériser et comprendre la structure d'une plaquette semi-conductrice. Au cœur de KLA 6220 Surfscan dispose d'un microscope automatique avancé à épifluorescence qui fournit une imagerie optique haute résolution pour la vue topographique de surface de la plaquette semi-conductrice. Il est capable de mesurer des caractéristiques de niveau inférieur au micron avec une résolution meilleure que 1um. De plus, l'unité est équipée d'une machine à balayage orthogonal bidimensionnelle qui aide à mesurer et à caractériser avec précision les caractéristiques de surface et la métrologie. Le 6220 se compose de deux composants principaux : l'optique et le contrôleur. L'optique est le composant principal qui permet à l'individu de capturer des images de la plaquette. Il comprend des composants tels que le microscope à épifluorescence, des objectifs, des lentilles, un miroir séparateur de faisceau, un foyer d'échantillons et des filtres de fluorescence. L'optique est capable de mesurer et d'analyser des caractéristiques d'un niveau inférieur à un micron à un niveau supérieur à 10 microns. Le contrôleur est la composante secondaire de l'outil qui contrôle les capacités du microscope. Il comprend un logiciel conçu pour analyser et caractériser les caractéristiques des plaquettes, et un sous-système d'acquisition de données. Le logiciel dispose d'algorithmes avancés de traitement d'image qui peuvent identifier et analyser les caractéristiques de surface avec facilité. En outre, il fournit une variété de contrôles tels que des paramètres d'auto-contraste et de luminosité, ainsi que des fonctions manuelles de recouvrement d'image. De plus, il comprend également un programme complet de diagnostic à bord. TENCOR 6220 Surfscan est l'outil idéal pour ceux qui ont besoin d'une analyse de surface fiable et précise d'une plaquette semi-conductrice. Il permet aux utilisateurs d'observer, de mesurer et de caractériser les caractéristiques sur un plan granulaire, grâce à son logiciel rapide et intuitif. En fin de compte, cet atout permet aux utilisateurs d'étudier rapidement et avec précision la structure d'une plaquette semi-conductrice, conduisant à une meilleure optimisation des procédés et des rendements des produits.
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