Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9160480 à vendre en France
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Vendu
ID: 9160480
Wafer surface analysis systems
System configuration:
Processor type: Pentium
Model number: SFS 6220
Laser type: Argon Ion
Sampling rate: Double
Analog board type: P/N 223670
Wafer handling: Standard
Indexer configuration: Left + Right
Maximum haze at gain: 50000 ppm
Gem version sampling board type: Gem 93
SMIF Type: No SMIF
SECS Type: SECS-I
Laser hours: 2184.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement de métrologie des dimensions critiques conçu pour mesurer la topographie des plaquettes pour l'industrie des semi-conducteurs. Il s'agit d'un système entièrement automatisé de test et de métrologie de plaquettes multi-capteurs qui utilise plusieurs capteurs pour créer des images tridimensionnelles (3D) haute résolution de la morphologie de surface d'une plaquette. L'unité utilise un scatteromètre haute résolution qui mesure les angles de contact critiques, ainsi que deux têtes de balayage brevetées avec des capteurs laser et chromatiques embarqués qui génèrent des images de la surface de la plaquette avec jusqu'à 10 nm de résolution dans la verticale et jusqu'à 5 nm dans la direction latérale. Les capteurs 6M et 10M ont une longueur de balayage active allant jusqu'à 600 mm, tandis que le capteur 4M a une longueur de balayage active allant jusqu'à 400 mm. KLA 6220 Surfscan dispose également d'une électronique haute vitesse à faible bruit qui lui permet d'acquérir des données de haute qualité en aussi peu que 0,9 seconde. La machine intègre une interface utilisateur intuitive qui offre un contrôle complet des processus, permettant aux utilisateurs de configurer et de surveiller les recettes complexes avec facilité. Il intègre également des analyses avancées et un contrôle automatisé des processus qui permettent un diagnostic rapide et précis des défauts, ainsi que des actions automatisées pour corriger et réduire les défauts. L'outil est capable d'analyser simultanément les surfaces supérieure et inférieure d'une plaquette, en fournissant aux utilisateurs une vue détaillée de la topographie de surface. TENCOR 6220 Surfscan est une solution économique qui fournit la précision et la fiabilité requises pour répondre aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs. Il offre des tests de surface et une métrologie polyvalents, précis et fiables dans les environnements de production et de R-D, et est un atout inestimable pour toutes les opérations avancées de fabrication et de développement de semi-conducteurs.
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