Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9174323 à vendre en France
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ID: 9174323
Defect inspection system, 4"-8"
Laser hours: 2,184
PSL Sizing
Automatic wafer handler
Sensitivity:
Most surfaces: 0.20μm @ 95%
Polished surfaces: 0.10μm @ 95%
Detects sub-micron particles on bare silicon
Capture rate: 0.12μm defect sensitivity on bare silicon
Repeatability:
Less than 1.0% at 1 standard deviation
Mean count: > 500
Diameter latex spheres on bare silicon: 0.204
Contamination:
Less than 0.005 particles / cm > 0.15 μm
Haze sensitivity: 0.02 ppm
Defect map & Histogram:
Zoom illumination source
Argon-ion laser: 30 mW
Wavelength: 488 nm
2D Signal integration: 50μm Spatial resolution
Non-contaminating robotic handler
Random access: Sender / Receiver unit.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement entièrement programmable d'essai de plaquettes et de métrologie avec une variété de capacités photométriques, de microscope à force atomique (AFM), de topographie et de spectrométrie. Il est idéal pour la nano-fabrication, le contrôle des procédés et la recherche et le développement de matériaux semi-conducteurs avancés. Sa capacité à s'intégrer à d'autres systèmes de métrologie en fait un excellent choix pour le développement de produits et de procédés. KLA 6220 Le système de détection optique haute densité de Surfscan capture les images et les cartes des sites défectueux, puis les classe et les mesure automatiquement. Il contient des modes de balayage multimodaux pour l'inspection des films, la cartographie à travers un ensemble de films en trois dimensions et sur des surfaces de films uniques. Cela permet de cartographier les plaquettes et d'effectuer facilement des séries d'analyse des défauts. TENCOR 6220 Surfscan a été conçu pour une polyvalence et une précision maximales. Il utilise une variété de lasers pour fournir des mesures précises des défauts sur la surface de la plaquette. Son unité d'imagerie, basée sur des algorithmes probabilistes, peut distinguer les défauts tels que les puits, les marques et les rayures. Il peut également examiner la rugosité à la fois sur les surfaces verticales et horizontales de la plaquette avec une extrême précision. 6220 Surfscan comprend également des systèmes de métrologie fiables qui permettent des mesures précises de l'épaisseur du film et des propriétés du matériau, telles que la réflectance et l'indice de réfraction. Ses systèmes optiques, AFM et spectrométrie travaillent ensemble pour fournir des mesures précises de la composition chimique, de l'épaisseur de la couche et de l'orientation de la croissance cristalline afin d'assurer le contrôle des processus. KLA/TENCOR 6220 Surfscan est livré avec une variété d'options d'interface, y compris la détection chimique et les mesures électriques. Il dispose également d'un logiciel robuste pour simplifier le processus d'alignement des plaquettes et de capture d'images. Par conséquent, la machine peut être utilisée par les chercheurs et les ingénieurs pour développer et tester de nouveaux matériaux, procédés et technologies. En conclusion, KLA 6220 Surfscan est un outil de test et de métrologie avancé et polyvalent qui permet de mesurer et d'examiner les défauts avec précision. Avec ses capacités de balayage multimodales et des mesures fiables, il est un excellent choix pour le développement de produits et de procédés pour les matériaux semi-conducteurs avancés.
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