Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9185202 à vendre en France

KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour fournir une analyse de surface complète et automatisée et l'amélioration du rendement. Il mesure avec précision les paramètres de surface tels que la réflexion, la diffusion, le stress, la topographie et la contamination. Avec un module de 300mm et jusqu'à 7 canaux d'inspection, il est idéal pour obtenir des rendements améliorés dans une variété d'applications de production de semi-conducteurs. Le système se compose d'une unité monoplace avec un étage XY qui déplace l'échantillon dans la direction X et Y, ainsi que d'une machine multi-faisceaux avec un étage XY et un scanner planaire. Les systèmes monobloc et multifaisceaux peuvent être utilisés pour diverses applications, allant de simples inspections de surface des plaquettes à un suivi complexe des processus d'arrière-plan des plaquettes. L'outil multi-faisceaux peut fournir des données rapides et précises sur une gamme de paramètres de surface tels que la réflexion, la diffusion et la contrainte, tandis que l'actif mono-faisceau fournit une imagerie plus détaillée et améliorée en résolution de la microtopographie de surface. Le modèle est construit sur l'électronique et l'optique de numérisation éprouvée, combiné avec un logiciel avancé de traitement du signal. Le logiciel de traitement du signal est puissant et fiable, permettant de collecter des caractéristiques de surface très détaillées, une analyse précise des images et des comparaisons de données sophistiquées. L'équipement offre plusieurs systèmes de direction de faisceau et d'éclairage qui peuvent être utilisés pour analyser et mesurer avec précision des paramètres tels que la topographie, la diffusion, la réflectance, la contamination des particules et la contrainte. Tous les paramètres de direction de faisceau sont entièrement réglables et peuvent être stockés pour référence future. KLA 6220 Surfscan est un système robuste et fiable qui peut aider à augmenter les rendements des processus et à améliorer la fidélité des modèles. Avec son logiciel de traitement de signal avancé, sa grande vitesse et précision, et ses capacités d'imagerie exceptionnelles, il est sûr de devenir un outil indispensable dans le contrôle des processus et l'amélioration des rendements dans les applications de production de semi-conducteurs.