Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9194019 à vendre en France

KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour mesurer et inspecter les caractéristiques physiques des dispositifs semi-conducteurs. Le système est conçu pour fournir des mesures précises des profils des caractéristiques sur les plaquettes de silicium et peut détecter des défauts dans chaque plaquette. Il est capable d'un fonctionnement entièrement automatisé, balayant un grand nombre de plaquettes en succession rapide avec une intervention minimale. L'unité dispose d'une conception à quatre axes avec des moteurs de précision et des systèmes de rétroaction qui balayent des plaquettes jusqu'à 300 mm de diamètre à une vitesse allant jusqu'à 500 mm/sec. Les paramètres de balayage peuvent être ajustés pour atteindre la résolution souhaitée, avec la machine standard configurable pour les balayages avec une résolution de 50 μ m. L'outil dispose également d'un atout optique avec une caméra haute vitesse et une source lumineuse à large bande. On obtient ainsi des images de caractéristiques sur des plaquettes avec des images capturées à raison de 10 000 images par seconde. Les images capturées sont ensuite analysées par un logiciel capable de détecter les défauts présents, qui sont ensuite classés par taille, forme ou autres caractéristiques. Le modèle peut être utilisé pour le contrôle des processus, la cartographie des plaquettes et la gestion des rendements. Cela permet de mieux comprendre ce qui se passe dans un processus particulier et d'apporter des corrections avant que des défauts potentiels ne deviennent importants. Il permet également un traitement plus rapide des plaquettes, l'augmentation de la productivité ainsi que la réduction des coûts. En plus de l'inspection des plaquettes, l'équipement KLA 6220 Surfscan peut également être utilisé pour d'autres processus tels que la métrologie, les mesures d'angle de contact, les mesures d'épaisseur de film et la détermination de la rugosité de surface. Cela permet une compréhension détaillée des caractéristiques d'un matériau particulier, donnant aux ingénieurs et aux scientifiques plus d'informations avec lesquelles travailler. Dans l'ensemble, le système TENCOR 6220 Surfscan est un outil puissant et polyvalent qui peut être utilisé pour inspecter rapidement et efficacement les plaquettes pour détecter tout défaut, ainsi que pour analyser d'autres caractéristiques du matériau. Sa combinaison de précision, de vitesse et d'optimisation logicielle en fait un élément inestimable de tout processus de production de semi-conducteurs et un atout pour l'industrie.