Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9195861 à vendre en France

KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes qui combine la puissance des technologies optiques et électriques pour fournir une approche complète et précise de l'inspection des plaquettes. Le système est conçu pour surveiller les processus sur les plaquettes de toutes tailles, de 200mm à 450mm de diamètre. L'unité est capable d'inspecter un large éventail de matériaux de plaquettes, y compris des semi-conducteurs, de l'arséniure de gallium et des systèmes micro-électromécaniques (MEMS). Le Surfscan est conçu pour fournir une précision de qualité laboratoire avec résolution en temps réel et mesure automatisée. Il utilise l'imagerie multi-spectrale dans la gamme 420-1000nm, couplée à une tête double optique (profilomètre optique et paire de microscopes) pour mesurer la topographie des plaquettes. La machine est également équipée d'un logiciel spécialisé pour la mesure automatisée de hauteur de pas, la mesure CD (dimensions critiques), la caractérisation topographique, et la mesure des bords de ligne. Le Surfscan dispose d'un processus automatisé de tri par seuil pour le test détaillé des défauts, capable de détecter les particules, les défauts et autres irrégularités. Il peut également détecter des discontinuités électriques en plus des discontinuités optiques. L'outil dispose également d'une bibliothèque de types de défauts prédéfinis, permettant aux utilisateurs d'identifier rapidement les types de défauts puis d'appliquer des mesures correctives automatisées. L'actif est également équipé d'une classification flexible des défauts, qui peut être appliquée aux scénarios personnalisés et aux paramètres de la bibliothèque, ainsi que l'optimisation en boucle fermée pour améliorer le rendement et le débit. Le Surfscan a également été conçu avec une gamme complète d'outils et de fonctionnalités de métrologie, qui comprennent l'imagerie haute gamme dynamique (HDR), la métrologie 3D, et la cartographie automatique de la dimension critique de ligne (CD). Avec ces outils, les utilisateurs ont la capacité de mesurer différentes zones d'une plaquette avec une grande précision et vitesse. De plus, le modèle est équipé d'une série d'outils de rapport qui permettent aux utilisateurs d'examiner et d'analyser rapidement les résultats des tests et d'identifier les tendances afin d'éclairer l'optimisation des processus. Le Surfscan est très configurable et peut être adapté pour répondre à une variété de types de plaquettes et de processus. En tant que tel, l'équipement est adapté à une gamme de besoins d'essai de plaquettes, de l'analyse des défaillances à la recherche et au développement. Avec ses spécifications techniques robustes et sa gamme complète de capacités de métrologie et de détection de défauts, le Surfscan est bien adapté à la fois pour la fabrication à haut volume et les opérations de laboratoire à faible volume.