Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9213312 à vendre en France

KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de plaquettes conçu pour mesurer les propriétés électriques des plaquettes à l'échelle nanométrique, permettant une analyse précise des procédés de fabrication des semi-conducteurs. Il est équipé de capacités de métrologie optique et électrique avancées qui lui permettent de détecter les défauts de surface, de tracer les contaminants et de mesurer la rugosité de surface et l'épaisseur du film. Le 6220 dispose d'un sous-système optique hautement sensible composé de six caméras CCD. En faisant varier la source de lumière LED, les caméras peuvent capturer différents contrastes entre l'échantillon et la surface de l'échantillon. Cela permet au système de détecter des formes de sous-microns et des défauts souterrains qui ne seraient pas détectables avec les méthodes de métrologie optique traditionnelles. Les appareils photo sont aussi capables de recueillir des données d'une 360 pleine vue ⁰ de la surface de promotion qui augmente tant la vitesse que l'exactitude d'analyse. Le 6220 dispose également d'un sous-système électrique propriétaire qui utilise la technologie ACBM (Automatic Cantilever Beam Measurement). Ceci lui permet de mesurer les variations nanométriques de la topographie de surface en détectant des signaux électriques avec une précision de sous-picomètres lors de leur passage à travers la surface de la plaquette. L'unité est également équipée d'une technologie Multi-Tap qui fournit une précision et un débit accrus en recueillant une plus grande gamme de données à partir de chaque point de mesure. De plus, le 6220 comprend un logiciel propriétaire qui permet aux utilisateurs de créer des programmes de métrologie personnalisés en fonction de leurs besoins spécifiques. Ce logiciel offre aux utilisateurs un large éventail de fonctionnalités, telles que des outils d'analyse et de visualisation des données, ainsi que des capacités de déclaration automatisées. Le logiciel dispose également de capacités de traçabilité qui permettent aux utilisateurs de suivre les quantités et les caractéristiques de leur échantillon. Combinées, les capacités optiques, électriques et logicielles des 6220 lui permettent d'analyser et de mesurer avec précision les substrats des plaquettes à l'échelle nanométrique. Les caractéristiques de métrologie avancées de la machine permettent aux utilisateurs de détecter des défauts de surface à petite échelle et d'obtenir des mesures précises en peu de temps, ce qui en fait un choix idéal pour les fabricants de semi-conducteurs.