Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9223462 à vendre en France

KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement automatisé de test et de métrologie des plaquettes de haute précision qui fournit des résultats puissants, reproductibles et précis pour répondre aux normes les plus élevées de contrôle de la qualité et de production des plaquettes. Il est conçu pour les applications semi-conductrices, MEMS et photovoltaïques dans les environnements de recherche et développement et de production à haut volume. Plus précisément, le système Surfscan 6220 permet de mesurer la planéité des plaquettes, la warpage des plaquettes, ainsi que les dimensions critiques des matrices sur les plaquettes. Il fournit également des rapports et des données critiques pour le contrôle des processus, la caractérisation des unités, l'analyse des défaillances et l'optimisation de la conception et des processus. La machine Surfscan est composée d'un outil de vision, d'une scène et d'un gestionnaire de plaquettes. L'atout vision comprend une puissante unité d'autofocus à réflexion laser CCD et un algorithme robuste de détection des défauts pour s'assurer que les mesures sont très précises et reproductibles. L'étage se compose d'une topographie de rétroaction avancée et d'un capteur optique haute résolution, tandis que le gestionnaire de plaquettes fournit des temps de mesure rapides en chargeant, déchargeant et déplaçant rapidement les substrats du modèle de vision à l'étage automatiquement. Pour utiliser l'équipement, une plaquette est d'abord chargée dans le gestionnaire et placée dans le système de vision. Après l'autofocus et le processus de détection, la plaquette est placée sur la scène, où elle est balayée avec une source lumineuse cohérente. La lumière réfléchie est recueillie et nettoyée pour une analyse plus approfondie. Lorsque les données sont collectées, elles sont analysées à l'aide d'algorithmes pour mesurer la planéité, la warpage et d'autres paramètres clés. Les résultats des mesures sont rassemblés dans un rapport, qui contient la topographie de la plaquette, les dimensions critiques et d'autres caractéristiques importantes de la plaquette. De plus, les routines de maintenance et d'étalonnage sont automatisées pour une plus grande cohérence des résultats. Globalement, KLA/Tencore KLA 6220 Surfscan fournit aux utilisateurs des tests de plaquettes puissants et répétables et des données de métrologie pour répondre aux exigences de contrôle de qualité les plus élevées. Il est très fiable, précis et facile à utiliser, ce qui en fait un excellent ajout à toute ligne de production de plaquettes.