Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9249955 à vendre en France

KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement polyvalent d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. Ce système est capable de mesurer les paramètres physiques, électriques et optiques des composants de plaquettes avec une grande précision et fiabilité. L'unité est équipée de divers outils pour analyser la surface de chaque plaquette, tels qu'un profileur optique, un capteur de tension, un microscope optique, un spectrophotomètre à réflectance optique et une microscopie à force atomique (AFM). Cela garantit une évaluation plus précise des composants de la plaquette avec une meilleure résolution. Le profileur optique permet une mesure rapide et précise des caractéristiques de surface - y compris les pas de surface, les particules et la non-uniformité - avec une précision extrême. Il offre également un large éventail de capacités d'analyse, telles que la corrélation croisée des signaux et la transformée de Fourier rapide (FFT) des données mesurées. Le capteur de tension permet à l'utilisateur de mesurer les propriétés électriques des composants de la plaquette en appliquant une tension au composant et en mesurant le courant résultant. Ceci fournit des données précieuses sur le comportement des composants électriques du dispositif, permettant à l'utilisateur de caractériser leurs performances. Le microscope optique est utilisé pour observer les caractéristiques minuscules des composants de la plaquette, comme les défauts ou la contamination, avec un agrandissement de 10x. Le spectrophotomètre de réflectance optique de la machine est utilisé pour mesurer les propriétés de surface et les défauts, fournissant des résultats très précis. Un circuit intégré spécifique à une application (ASIC) peut être utilisé pour tester des circuits numériques dans le cadre du processus de métrologie. Enfin, l'outil est équipé d'un AFM, qui s'appuie sur des champs de force puissants pour mesurer et caractériser les caractéristiques individuelles sur la surface d'une plaquette. Cette technologie peut fournir des images détaillées des oscillations de la surface d'une plaquette, ainsi que de la rugosité et de la structure de la surface. En résumé, KLA 6220 Surfscan combine les dernières technologies de test et de métrologie des plaquettes en une seule unité, permettant aux utilisateurs d'analyser avec précision et rapidité les propriétés physiques, électriques et optiques des composants de leur plaquette. Sa précision et sa polyvalence en font un outil précieux dans le secteur de la fabrication de semi-conducteurs.