Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9256450 à vendre en France
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KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement d'essai et de métrologie de wafer de pointe utilisé pour évaluer et mesurer les caractéristiques électriques, physiques et optiques des wafers semi-conducteurs pendant la production. Le système est conçu pour fournir des mesures sensibles, précises et répétables des paramètres critiques sur les plaquettes de silicium et les IC. KLA 6220 Surfscan utilise une mesure interférométrique optique sans contact au laser, ce qui lui permet de produire des mesures précises avec des résolutions répétables inférieures à 0,5nm. L'unité est équipée de logiciels avancés et de capacités d'analyse de données en temps réel, de sorte que les données et les résultats peuvent être présentés dans un format graphique complet. La machine peut également être utilisée pour effectuer des mesures multi-paramètres, permettant à l'utilisateur d'évaluer la qualité globale d'un dispositif ou d'une plaquette. L'outil est capable de tester un large éventail de caractéristiques, de types de défauts, de rugosité et de planéité de surface, de contraintes, de contraintes, d'espacements de couches, de profondeur de gravure, d'inclinaison et de hauteur de pas. Il dispose également d'une caméra stéréoscopique haute résolution, de sorte qu'il peut identifier et inspecter les caractéristiques de surface telles que la microdure, les défauts de motifs et les rayures. De plus, l'actif est équipé de sondes optiques sans contact qui peuvent mesurer la capacité, les fuites, la résistivité des feuilles et les valeurs de résistivité à un niveau de précision nanométrique. TENCOR 6220 Surfscan peut être utilisé en mode manuel ou automatisé. En mode automatisé, l'opérateur est en mesure de configurer et de programmer des séquences de test personnalisées, de sorte que tous les essais sont terminés sur les mêmes paramètres de base. Cela permet d'assurer des tests de plaquettes répétables et cohérents de la course à la course. L'utilisateur peut également configurer des paramètres de sécurité, qui maintiennent des niveaux de puissance sûrs pendant les tests. Le modèle est compatible avec les logiciels de fabrication de semi-conducteurs les plus populaires et les programmes de base de données, et peut être intégré avec les équipements de traitement des plaquettes existants. Il est ainsi facile pour les lignes de production de plaquettes existantes de passer à 6220 Surfscan. Son interface intuitive et conviviale permet aux utilisateurs de se familiariser rapidement avec l'équipement, tandis que ses fonctionnalités avancées d'ingénierie et de surveillance permettent un fonctionnement efficace et fiable. KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un système de test et de métrologie des plaquettes hautement capable de mesurer avec précision et fiabilité les caractéristiques critiques des plaquettes de silicium et des IC. Sa flexibilité et son logiciel de pointe lui permettent d'être intégré avec le logiciel de fabrication de semi-conducteurs le plus populaire, et il dispose d'un fonctionnement intuitif et convivial qui peut être rapidement maîtrisé.
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