Occasion KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9371741 à vendre en France

KLA/TENCOR 6220 Surfscan est un équipement d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour fournir une métrologie 2-D haute résolution et l'inspection des défauts. Il est capable d'effectuer une gamme complète de mesures sur des plaquettes nues et à motifs pour l'alignement de précision et la détection de contamination. Le système comprend un sous-système intégré de traitement des plaquettes, un module de tête de balayage et un logiciel d'imagerie de surface tactile. Le sous-système de traitement des plaquettes est conçu pour assurer un contrôle précis du mouvement de la surface des plaquettes contre l'optique du SurfScan. Il est également capable d'effectuer l'alimentation automatisée et le déplacement des plaquettes sur la surface de travail. Le module de tête de balayage se compose d'une caméra CCD, d'une source laser et d'un bloc optique équipé d'un moteur pas à pas, qui peut balayer la plaquette au fur et à mesure de son déplacement sur le plan de travail. Cela permet à la machine d'acquérir des images de la plaquette pour analyse. La caméra CCD a une résolution de 1000 nm et est capable d'acquérir des images avec un champ de vision jusqu'à 34 mm. La source laser a une longueur d'onde de 1060 nm et une puissance de sortie de 200 W. Le moteur pas à pas est capable d'atteindre une précision de sous microns par étages de 650 x 650 nm, permettant des images haute résolution. Le SurfScan comprend également un logiciel d'imagerie de surface tactile capable d'extraire des informations de surface et de sous-surface des images acquises. Pour ce faire, on mesure la rugosité de la surface et la topographie des défauts, la planéité et l'arc des plaquettes, ainsi que la contamination de la surface. Le logiciel comprend également divers outils pour effectuer l'inspection, le traitement et l'analyse des défauts. En outre, l'outil est capable de capturer des images à la fois dans le champ lumineux et l'éclairage du champ sombre. Cela permet à l'actif de détecter un large éventail de défauts tels que des copeaux, des rayures, des particules, des copeaux de bord et des fosses. Le modèle est conforme aux normes de l'industrie, y compris les SEMI 300-02 et MIL-STD-883. KLA 6220 Surfscan est un équipement de test et de métrologie de wafer avancé qui permet d'inspecter, de tester et d'analyser les wafers de manière efficace et précise. Grâce à ses capacités de haute résolution, d'alignement de précision et de détection des défauts, le système est capable de fournir une analyse rapide et précise de différents types d'échantillons de plaquettes.