Occasion KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293742067 à vendre en France

ID: 293742067
Defect inspection system, 6" Upgraded from 6220.
L'équipement KLA/TENCOR 6420 Wafer Testing and Metrology est un ensemble multifonctionnel de plates-formes logicielles et matérielles qui permettent l'inspection automatisée des wafers semi-conducteurs. Cela permet aux fabricants d'assurer la qualité et l'intégrité de leurs produits pendant la fabrication et d'améliorer les taux de rendement globaux. Le système KLA 6420 comprend plusieurs éléments chargés d'assurer le contrôle de la qualité. L'unité comprend une station de mesure de Wafer 4D 3001, qui utilise l'inspection plasma X pour identifier les défauts sous-dimensionnels et les contaminants. Cette station fournit également un alignement de motifs de plaquettes pour créer des mesures de recouvrement pour signaler tout problème de désalignement. La machine comprend également un poste d'inspection 4D 3001 qui utilise la microscopie optique à balayage en champ proche (NSOM) pour inspecter la topographie de la plaquette. Cette station dispose de huit modes d'éclairage contrôlés en interne et de capteurs multiples pour aider à identifier les défauts. L'outil de cartographie 4D 3101 utilise l'examen des macro-défauts pour évaluer la contamination des plaquettes qui peut causer une défaillance des actifs. Le modèle de nettoyage des plaquettes CDS 3001 utilise la technologie de bombardement des particules pour nettoyer les plaquettes des particules. Le poste de contrôle du nettoyant utilise un programme de mesure en quatre points pour vérifier les niveaux de contamination avant, pendant et après le processus de nettoyage des plaquettes. En plus des plateformes logicielles et matérielles, TENCOR 6420 utilise également le logiciel Quality Manager. Quality Manager est un outil de contrôle des processus qui permet aux fabricants de créer, mettre en œuvre et surveiller les processus de fabrication. Ce logiciel permet aux utilisateurs de réduire la variabilité et d'augmenter la fonctionnalité des plaquettes. Dans l'ensemble, 6420 est un équipement complet qui fournit une solution complète pour les essais et la métrologie dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Il permet aux utilisateurs de créer des protocoles de contrôle de la qualité, de mesurer et d'analyser les plaquettes et de nettoyer les plaquettes pour réduire la contamination. Avec l'aide de ce système, les fabricants peuvent améliorer le rendement des produits, réduire le coût et le temps de production, et augmenter la rentabilité.
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