Occasion KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293754476 à vendre en France
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ID: 293754476
Taille de la plaquette: 6"
Non-patterned wafer film surface analyzer, 6"
Automatic wafer handler
Defect map and Histogram
2D Signal integration
Non-contaminating robotic handler
Power supply: 208 V / 1 Phase / 16 A.
KLA/TENCOR 6420 est un équipement avancé d'essai de plaquettes et de métrologie conçu pour l'analyse, la caractérisation et la réparation efficaces des défauts à l'échelle nanométrique. Il dispose d'une suite intégrée de technologies logicielles et matérielles avancées pour identifier, localiser et isoler avec précision les particules défectueuses dans des plaquettes jusqu'à 200 mm. Le système comprend plusieurs sous-systèmes, généralement une machine hôte, du matériel et des logiciels d'acquisition de données, des systèmes de vision et des logiciels d'analyse et de réparation des défauts. La machine hôte peut être n'importe quel PC de classe Pentium, avec un minimum de 512 Mo de RAM. Le matériel et le logiciel d'acquisition de données capturent les résultats des tests et fournissent des fonctions avancées de calibrage, d'analyse et d'isolement des défauts. L'unité de vision capture automatiquement les images photographiques de chaque plaquette pour fournir un détail précis des défauts détectés. Le logiciel d'analyse et de réparation des défauts utilise un large éventail de techniques de métrologie pour détecter, dimensionner, localiser et isoler automatiquement les défauts sur la plaquette. La fiabilité et la précision de la machine KLA 6420 sont assurées par des mécanismes optiques de pointe, qui comprennent la focalisation automatisée et l'inspection sans contact pour ajuster l'optique pour un alignement précis et le calibrage des particules. De plus, l'optique de l'outil est équipée de deux caméras autofocus numériques pour créer des images tridimensionnelles de la plaquette. Les fonctions d'analyse et de réparation des défauts sur l'actif TENCOR 6420 prennent des images in situ de plaquettes sur la plateforme et effectuent automatiquement des opérations d'isolation, d'analyse et de caractérisation des défauts. Le modèle comprend également des algorithmes de calcul avancés pour assurer l'identification exacte des défauts, la localisation et l'isolement. Le matériel 6420 comprend également une gamme complète de services publics, tels qu'un système de gestion des recettes, une unité de suivi des défauts, une classification des défauts et des capacités d'analyse quantitative, une analyse statistique complète et une fonctionnalité d'archivage des fichiers. En outre, la machine dispose d'un outil avancé de gestion des tâches pour la gestion à distance des opérations de test. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR 6420 est un outil de test et de métrologie puissant et fiable conçu pour une précision et une précision élevées. Sa gamme intégrée de technologies matérielles et logicielles, combinée à l'optique avancée, aux systèmes de vision et aux fonctions d'analyse et de réparation des défauts, font du modèle un modèle idéal pour une analyse et une caractérisation efficaces et efficientes des défauts à l'échelle du nanomètre.
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