Occasion KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293767210 à vendre en France
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ID: 293767210
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1995
Automatic surface inspection system, 8"
1995 vintage.
KLA/TENCOR 6420 Surfscan est un équipement de test et de métrologie de plaquettes conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est capable de tester et de mesurer les propriétés optiques et électriques des plaquettes, et de fournir des données précises et répétables pour l'analyse. Le SurfScan 6420 est équipé de deux composants principaux : un étage de balayage d'optique laser WaferOptics™ et un contrôleur de balayage Scanpath™. Le WaferOptics™ est un étage de balayage linéaire, stable et à grande vitesse conçu pour mesurer avec précision et de façon répétée les données topologiques de surface. Sa résolution en codeur est de 0,15 micron avec une répétabilité ± 0,01 micron par axe. Le contrôleur de balayage Scanpath™ contient les algorithmes propriétaires pour interpréter les données de profil de surface et les convertir en métriques significatives. Ce système est capable de produire des métriques telles que des cartes de non-uniformité, des cartes de performance, des résultats de recouvrement et d'autres données de surface des plaquettes. L'unité comprend également plusieurs composants supplémentaires, tels qu'un module Zoom Optics™, qui fournit une portée de vision étendue des signaux basse tension. Une machine OPC avancée, développée à l'origine pour être utilisée avec les systèmes KLA 193nm et 248nm, est également incluse, permettant un étalonnage de recouvrement précis et un alignement des caractéristiques. L'outil fonctionne en mode « tête-à-main », ce qui signifie que les mesures peuvent être prises pendant que la plaquette reste montée dans l'actif, permettant aux utilisateurs de prendre plusieurs mesures sur la même plaquette sans perte de positionnement ou de temps. En termes de matériel et de logiciel, KLA 6420 Surfscan est équipé d'un processeur Pentium 4, d'un modèle d'exploitation Windows 7, d'une carte graphique double tête, de 16 Go de RAM et d'un disque dur de 32 Go. Le dispositif comprend également une connexion Ethernet pour l'accès à distance et la communication avec d'autres systèmes TENCOR. L'appareil est compatible avec différents types de logiciels clients et d'interfaces pour l'analyse et l'automatisation. Enfin, TENCOR 6420 Surfscan est entièrement capable de détection quantitative de défauts et de métrologie de superposition. Utilisant des algorithmes avancés de métrologie des défauts et d'imagerie optique, l'équipement est en mesure de détecter et de classer les défauts avec une plus grande sensibilité et précision. Cela apporte plus d'informations à l'utilisateur que les systèmes traditionnels d'imagerie et de test des plaquettes, leur permettant de prendre des décisions meilleures et plus efficaces qui peuvent affecter leur résultat.
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