Occasion KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293776063 à vendre en France

KLA / TENCOR 6420 Surfscan
ID: 293776063
Automatic surface inspection system Materials: SiO2, SiN, GaAs.
KLA/TENCOR 6420 Surfscan est un équipement avancé de test et de métrologie des plaquettes qui offre des mesures de haute précision pour la caractérisation de la surface des plaquettes. C'est un système de métrologie non destructif qui permet un rendement élevé et une excellente détection des défauts pour les applications d'inspection des semi-conducteurs et des photomasques. L'unité utilise la technologie de microscopie à balayage confocal à champ lumineux (CSM) pour mesurer les surfaces des plaquettes semi-conductrices en trois dimensions jusqu'à une résolution de 0,125 µm. Un scanner x-y-z conçu au coutume fournit le balayage à grande vitesse sur la région entière d'une gaufrette, qui est typiquement 8 ″, 12 ″ ou 16 ″. La conception optomécanique du scanner est optimisée pour minimiser la distorsion d'image, le bruit et la dérive, ce qui la rend idéale pour des mesures précises et répétables. Il est équipé d'une gamme d'options de caméra haute résolution telles qu'un CCD couleur et des capteurs de réseau de ligne numérique. KLA 6420 Surfscan utilise une machine de traitement de signal numérique hybride avancée qui fournit une architecture de calcul puissante avec du matériel et des modules logiciels dédiés. Les modules matériels et logiciels dédiés permettent un traitement rapide des données de test, la détection des défauts et la mesure des distributions de défauts. L'outil dispose également de multiples modes de fonctionnement, qui permettent aux clients d'utiliser plusieurs types d'algorithmes d'analyse d'image pour leur application spécifique. L'acquisition de données est flexible, ce qui permet de caractériser avec précision les structures submicroniques grâce à des taux d'échantillonnage élevés. Le 6420 comprend également des capacités de visualisation avancées telles que des rendus de surface 3D et des films topographiques animés. Cela permet aux clients de créer des visualisations qui montrent clairement la géométrie et la taille des défauts et des non-uniformités. L'actif comprend également un large éventail d'outils logiciels puissants pour l'identification et l'analyse des défauts, qui en font une solution de métrologie polyvalente. TENCOR 6420 Surfscan offre une solution puissante, fiable et conviviale pour le test et la métrologie des plaquettes de haute précision. Grâce à sa technologie CSM de pointe, aux options de caméra haute résolution et au processeur de signal numérique, le modèle permet une détection rapide et précise des défauts, ainsi qu'une caractérisation très détaillée de la surface des plaquettes. Il dispose également de capacités de visualisation avancées et d'une large gamme d'outils logiciels pour en faire un véritable équipement complet de test de plaquettes et de métrologie.
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